[发明专利]薄膜形成用蒸镀材及具备该薄膜的薄膜片以及层叠片

说明书

技术领域

本发明涉及一种适于形成透明性、气体遮断性等各种特性优异的薄膜的蒸镀材及具备该薄膜的薄膜片以及层叠片。更详细而言，涉及一种在形成这些各种特性优异，特别是适合作为液晶显示器、有机EL显示器或太阳能电池模块等的气体遮断性材料的薄膜时使用的蒸镀材及具备该薄膜的薄膜片以及层叠片。

背景技术

液晶显示器、有机EL显示器或太阳能电池等设备通常经不起湿气，使其特性因吸湿而迅速地劣化，所以必须配备具有高防湿性、即防止氧或水蒸气等渗透或侵入的气体遮断性的组件。

例如，在太阳能电池的例子中，在与太阳能电池模块的受光面的相反一侧的背面设置有背板。关于该背板代表性的有在基材上由具有高防湿性的气体遮断性材料和保护它们的部件等构成的背板。

作为这种构成太阳能电池模块的背板，例如公开有通过高强度的耐热性、耐候性树脂夹层防湿性金属箔，另外在其一方设置玻璃质蒸镀皮膜而成的太阳能电池模块的背面保护用片材料(例如参照专利文献1)。在该片材料中，使用铝箔、镀锌铁箔、镀锡铁箔等金属箔作为气体遮断性材料。此外，公开有将层叠高防湿膜和高耐候膜并使其一体化而成的太阳能电池盖板材料使用在背面侧保护部件中的太阳能电池(例如参照专利文献2)。在该太阳能电池盖板材料中的高防湿膜中使用如下膜，即由CVD(化学蒸镀)、PVD(反应蒸镀)法等在PET膜等基材膜上形成防湿膜作为气体遮断性材料，所述防湿膜由二氧化硅、氧化铝等无机氧化物的涂膜构成。并且，公开有具备呈现无机氧化物层且由塑料膜或塑料复合材构成的遮断层的光伏模块(例如参照专利文献3)。在该无机氧化物层中，氧化铝或氧化硅作为其涂层材料使用。

专利文献1：日本实用新型公告平2-44995号公报(实用新型登录权利要求及5栏的第41～44行)

专利文献2：日本专利公开2000-174296号公报(权利要求1、权利要求7及[0019]段)

专利文献3：日本专利公表2002-520820号公报(权利要求1及[0019]段)

然而，上述专利文献1所示的背面保护用片材料使用铝箔等金属箔作为气体遮断性材料，因此若将该片材料应用于太阳能电池模块的背板上，则有可能降低耐电压性、泄漏电流。并且，有关使用金属箔的片材料，若金属箔的厚度变为20μm以下，则增加耐热性、耐候性树脂与金属箔之间产生的针孔，气体遮断性显著地下降。另一方面，如果增加金属箔的厚度，则会产生制造成本上升之类的问题。此外，当为上述专利文献2及3中使用的二氧化硅、氧化铝等无机氧化物时，如果要获得高气体遮断性，则必须将膜的厚度确保在100nm以上，即便是该尺寸也谈不上气体遮断性很充分。

发明内容

本发明的目的在于提供一种适于形成透明性及气体遮断性优异的薄膜的蒸镀材。

本发明的另一目的在于提供一种具备透明性及气体遮断性优异的薄膜的薄膜片及层叠片。

本发明的第1观点、即混合第1氧化物粉末和第2氧化物粉末而成的蒸镀材，其特征在于，所述第1氧化物粉末为MgO粉末，该第1氧化物粉末的第1氧化物纯度为98％以上，所述第2氧化物粉末为ZnO粉末，该第2氧化物粉末的第2氧化物纯度为98％以上，蒸镀材由含有第1氧化物粉末和第2氧化物粉末的颗粒构成，蒸镀材中的第1氧化物与第2氧化物的比率为5～85∶95～15，而且颗粒的碱度为0.1以上。

本发明的第2观点、即根据第1观点的发明，进一步的特征在于，第1氧化物粉末的平均粒径为0.1～10μm，且第2氧化物粉末的平均粒径为0.1～10μm。

本发明的第3观点、即一种薄膜片10，其中，如图1所示，通过将根据第1或第2观点的蒸镀材作为靶材使用的真空成膜法，在第1基材膜11上形成氧化物薄膜12而成，所述氧化物薄膜含有第1氧化物中所含的金属元素A及第2氧化物中所含的金属元素B，在将所述薄膜12中的所有金属元素的含有比例设为100摩尔％时，金属元素A的含有比例为5～85摩尔％，金属元素B的含有比例为95～15摩尔％。

本发明的第4观点、即根据第3观点的发明，进一步的特征在于，真空成膜法为电子束蒸镀法、离子镀法、反应性等离子体蒸镀法、电阻加热法或感应加热法中的任意一种方法。

本发明的第5观点、即根据第3或第4观点的发明，进一步的特征在于，在温度20℃、相对湿度50％RH的条件下放置1小时时的水蒸气渗透率S为0.3g/m²·day以下。