[发明专利]薄膜形成用蒸镀材及具备该薄膜的薄膜片以及层叠片

权利要求书

1.一种蒸镀材，混合第1氧化物粉末和第2氧化物粉末而成，其特征在于，

所述第1氧化物粉末为MgO粉末，所述第1氧化物粉末的第1氧化物纯度为98％以上，

所述第2氧化物粉末为ZnO粉末，所述第2氧化物粉末的第2氧化物纯度为98％以上，

所述蒸镀材由含有所述第1氧化物粉末和所述第2氧化物粉末的颗粒构成，

所述蒸镀材中的第1氧化物与第2氧化物的比率为5～85∶95～15，而且所述颗粒的碱度为0.1以上。

2.如权利要求1所述的蒸镀材，其中，

所述第1氧化物粉末的平均粒径为0.1～10μm，且所述第2氧化物粉末的平均粒径为0.1～10μm。

3.一种薄膜片，该薄膜片通过将权利要求1或2所述的蒸镀材作为靶材使用的真空成膜法，在第1基材膜上形成氧化物薄膜而成，所述氧化物薄膜含有所述第1氧化物中所含的金属元素A及所述第2氧化物中所含的金属元素B，

在将所述薄膜中的所有金属元素的含有比例设为100摩尔％时，所述金属元素A的含有比例为5～85摩尔％，所述金属元素B的含有比例为95～15摩尔％。

4.如权利要求3所述的薄膜片，其中，

所述真空成膜法为电子束蒸镀法、离子镀法、反应性等离子体蒸镀法、电阻加热法或感应加热法中的任意一种方法。

5.如权利要求3或4所述的薄膜片，其中，

在温度20℃、相对湿度50％RH的条件下放置1小时时的水蒸气渗透率S为0.3g/m²·day以下。

6.如权利要求5所述的薄膜片，其中，

将在温度20℃、相对湿度50％RH的条件下放置1小时后、在温度85℃、相对湿度90％RH的条件下再放置100小时时的水蒸气渗透率设为T时，所述水蒸气渗透率T相对所述水蒸气渗透率S的变化率T/S×100为200％以下。

7.一种层叠片，该层叠片在权利要求3至6中任一项所述的薄膜片的薄膜形成侧，通过粘着层层叠第2基材膜而成。