[发明专利]具有加热器的角腔

权利要求书

1.一种磁盘处理系统，包括：

角腔，包括：

安装组件；

耦合到所述安装组件的加热器组件；以及

载体旋转组件，所述载体旋转组件耦合到所述安装组件以使所述加热器组件绕着所述载体旋转组件的旋转轴线旋转。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述加热器组件包括第一加热元件和第二加热元件。

3.根据权利要求2所述的系统，其中所述安装组件包括：

耦合到所述载体旋转组件的安装板；

耦合到所述安装板的安装柱；以及

耦合到所述安装柱的第一加热器保持件，其中所述第一加热器元件和所述第二加热器元件耦合到所述第一加热器保持件。

4.根据权利要求3所述的系统，还包括：

布置在所述第一加热元件和所述第一加热器保持件之间的第一防护罩；以及

布置在所述第二加热元件以及和所述第一加热器保持件之间的第二防护罩。

5.根据权利要求3所述的系统，其中所述第一加热元件和所述第二加热元件中的每一个均包括热解氮化硼加热元件。

6.根据权利要求3所述的系统，其中所述加热器组件还包括第三加热元件和第四加热元件，并且其中所述系统还包括：

耦合到所述第一加热器保持件的安装架；以及

耦合到所述安装架的第二加热器保持件，其中所述第三加热元件和所述第四加热元件在与所述第一加热元件和所述第二加热元件相邻的位置分别耦合到所述第二加热器保持件，其间存在间隙。

7.根据权利要求6所述的系统，其中所述第一加热元件、所述第二加热元件、所述第三加热元件和所述第四加热元件均包括热解氮化硼加热元件。

8.根据权利要求7所述的系统，还包括：

布置在所述第三加热元件和所述第二加热器保持件之间的第三防护罩；以及

布置在所述第四加热元件和所述第二加热器保持件之间的第四防护罩。

9.根据权利要求1所述的系统，还包括用于沿着第一方向将磁盘载体传输到所述角腔的磁盘传输系统，所述磁盘传输系统沿着第二方向将所述磁盘载体传输出所述角腔。

10.根据权利要求9所述的系统，其中所述第二方向与所述第一方向垂直。

11.根据权利要求1所述的系统，还包括：

加载腔；

多个处理腔；以及

磁盘传输系统，所述磁盘传输系统耦合到所述加载腔、所述角腔和所述多个处理腔以在它们之间传输磁盘。

12.根据权利要求1所述的系统，其中所述磁盘传输系统配置为从所述加载腔向所述角腔然后向所述多个处理腔按顺序地传输磁盘。

13.根据权利要求8所述的系统，还包括通过对应的第一加热器防护罩、第二加热器防护罩、第三加热器防护罩和第四加热器防护罩分别耦合到所述第一加热元件、所述第二加热元件、所述第三加热元件和所述第四加热元件的第一电源连接器、第二电源连接器、第三电源连接器和第四电源连接器。

14.一种方法，包括：

将固定一个或者更多个磁盘的磁盘载体传输到角腔中；以及

使用加热器组件在所述角腔中加热所述一个或者更多个磁盘。

15.根据权利要求14所述的方法，还包括在所述角腔中绕着同一旋转轴线旋转所述一个或者更多个磁盘和所述加热器组件，并且其中加热包括在旋转时加热所述一个或者更多个磁盘。

16.根据权利要求14所述的方法，其中所述加热器组件包括一个或者更多个加热元件。

17.根据权利要求16所述的方法，其中所述一个或者更多个加热元件中的每一个均包括热解氮化硼加热元件。

18.根据权利要求15所述的方法，其中所述一个或者更多个磁盘和所述一个或者更多个加热器绕着所述载体旋转组件的旋转轴线旋转。

19.一种磁盘处理系统，包括：

用于在角腔中旋转一个或者更多个磁盘和加热器组件的装置；以及

用于在旋转时在所述角腔中使用所述加热器组件加热所述一个或者更多个磁盘的装置。

20.根据权利要求19所述的磁盘处理系统，其中所述用于旋转的装置包括用于绕着同一旋转轴线旋转所述一个或者更多个磁盘与所述加热器组件的装置。