[发明专利]有机发光二极管显示器及其制造方法

说明书

技术领域

本发明总体上涉及一种具有用作电容器的一个电极的半导体层的有机发光二极管(OLED)显示器和一种制造该OLED显示器的方法。

背景技术

由于有机发光二极管(OLED)显示器的优点，例如宽视角、快速响应速率和相对较小的功耗以及较轻的重量和纤薄的尺寸，所以有机发光二极管(OLED)显示器作为下一代显示器而备受关注。

有机发光二极管(OLED)显示器包括薄膜晶体管、有机发光元件和电容器。这里，电容器的两个电极可以由金属层制成，或者一个电极可以由金属层制成，另一个电极可以由半导体层制成。

另一方面，当半导体层作为电容器的一个电极时，半导体层通常掺杂有杂质，以提高导电率。然而，如果由于制造工艺的局限性而没有将杂质掺杂到半导体层的用作电容器一个电极的一部分，则有机发光二极管(OLED)显示器的整体特性劣化。

在该背景技术部分公开的上述信息仅是为了加强对所描述的技术背景的理解，因此它可能包含不构成在这个国家对本领域普通技术人员来说已知的现有技术的信息。

发明内容

示例性实施例提供了一种由于在用作电容器一个电极的半导体层的一部分处未掺杂杂质而使劣化的产生受到抑制的有机发光二极管(OLED)显示器。

另外，提供了一种有机发光二极管(OLED)显示器的制造方法。

根据示例性实施例的有机发光二极管(OLED)显示器包括：基底；半导体层图案，形成在所述基底上，并包括第一电容器电极；栅极绝缘层，覆盖所述半导体层图案；第一导电层图案，形成在所述栅极绝缘层上，并包括第二电容器电极，所述第二电容器电极具有与所述第一电容器电极叠置的至少一部分；层间绝缘层，具有暴露所述第二电容器电极的一部分的电容器开口，并覆盖所述第二电容器电极；第二导电层图案，形成在所述层间绝缘层上，其中，所述电容器开口包括第一横向侧壁、第二横向侧壁和纵向侧壁，所述第一横向侧壁与所述第二电容器电极平行且叠置，所述第二横向侧壁与所述第二电容器电极平行且不叠置，所述纵向侧壁将所述第一横向侧壁和所述第二横向侧壁彼此连接且与所述第一电容器电极叠置。

与所述电容器开口的所述纵向侧壁叠置的第一电容器电极可以是掺杂有杂质的半导体层。

另外，根据另一示例性实施例的有机发光二极管(OLED)显示器包括：基底；半导体层图案，形成在所述基底上，并包括第一电容器电极；栅极绝缘层，覆盖所述半导体层图案；第一导电层图案，形成在所述栅极绝缘层上，并包括第二电容器电极，所述第二电容器电极具有与所述第一电容器电极叠置的至少一部分；层间绝缘层，包括电容器开口和至少一个掺杂孔并覆盖所述第二电容器电极，所述电容器开口暴露所述第二电容器电极的一部分，所述至少一个掺杂孔与所述第二电容器电极和所述第一电容器电极叠置且暴露所述第二电容器电极的靠近所述电容器开口的一部分；第二导电层图案，形成在所述层间绝缘层上。

与至少一个掺杂孔叠置的所述第一电容器电极可以是掺杂有杂质的半导体层。

所述第一导电层图案的区域的一部分可以由单个透明导电层形成，所述区域的另一部分由透明导电层和沉积在透明导电层上的多个金属层形成。

所述电容器开口可以通过蚀刻工艺形成，所述蚀刻工艺可以包括使用含有氢氟酸(HF)的溶液的清洗工艺。

所述多个金属层中的除了最高层之外的至少一个金属层与所述最高层相比相对更容易地被含有氢氟酸(HF)的溶液腐蚀。

所述多个金属层中的除了最高层之外的至少一个金属层可以包括铝。

所述第一导电层图案的所述第二电容器电极的通过所述电容器开口暴露的一部分可以由单个透明导电层形成。

与由所述单个透明导电层形成的所述第二电容器电极的一部分叠置的第一电容器电极可以掺杂有杂质。