[发明专利]基板用盒的载放台

说明书

技术领域

本发明涉及一种在移载装置或装卸口等使用的基板用盒的载放台。

背景技术

液晶显示器基板、等离子面板显示器基板、太阳能电池基板等基板用的盒，为具备多个梁的骨架状的结构，在内部收容多个基板。这种盒用于搬运以及保管大型的基板。由于收容了基板的盒为重物，所以当载放到载放台上时，载放台变形并产生振动。该振动对基板产生不良影响。对此，在专利文献1(JP2008-24461A)中，公开了实施倾斜控制以抑制载放台的振动的内容。因此，需要使载放台倾斜的倾斜机构和正确的控制。对此，本发明人对更加简便地降低盒的振动的情况进行了研究，并得到本发明。另外，专利文献2(JP2008-298065A)公开了在无人搬送车的关节式臂(SCARAarm)上设置防震凝胶的内容。但是，专利文献2未研究通过载放台支持基板用盒的内容。

专利文献1：JP2008-24461A

专利文献2：JP2008-298065A

发明内容

本发明的基本课题为，在通过载放台支持基板用的大型盒时，简单地降低振动。

本发明的为一种载放台，用于载放基板用盒，在底面具备多个梁，其特征在于，在载放台主体上安装有多个具备粘弹性体的、梁的支承台，通过支承台支持上述盒的底面。粘弹性体例如是建筑物等构造物的防振用的粘弹性体。

当将盒载放到载放台上时，由于盒的重量而载放台变形，此时，由于超过来自盒的重力与载放台的弹力相平衡的位置地变形，因此开始振动。在本发明中，由于通过具备粘弹性体的支承台来支持盒，因此载放台与盒的振动能量通过粘弹性体转换为热量，减小盒和载放台的振动。如此，能够通过较小的粘弹性体来降低较大的盒的振动。

优选为，从上下双方由至少一对金属板夹入粘弹性体，下方的金属板固定在载放台主体上，在上方的金属板的上面侧安装有对梁的底面进行支持的导电性树脂的衬垫，并且设置有将衬垫与载放台主体接地的地线。通过将粘弹性体从上下双方由金属板夹入，能够将其简单地安装到载放台主体上。一般来说，粘弹性体为绝缘体，但当在上方的金属板的上面侧设置导电性树脂的衬垫并进行接地时，能够将盒可靠地接地，能够防止静电导致的颗粒向基板的附着以及基板的损伤。并且，在将盒载放到载放台上时，导电性树脂的衬垫支持梁的底面，因此能够低冲击地将盒载放到载放台上。

并且优选为，上方的金属板以及衬垫的宽度比梁的宽度大，在上述衬垫上，在梁的左右两个外侧的位置上，左右一对安装板被按压在衬垫的上面上，且左右一对安装板紧固在上方的金属板上。在本说明书中，梁的左右是指在水平面内与梁的长度方向成直角的方向上的左右。衬垫由于从梁的底面施加的力而磨耗，但当拆下安装板时，能够简单地仅更换衬垫。并且，安装板处于梁的左右两个外侧，与梁不接触。

优选为，在上述载放台主体上设置有由一对导向部件构成的导向部，该导向部从两侧对梁进行引导。如此，梁由导向部引导而被载放到具备粘弹性体的支承台上，来自盒的负荷以规定的模式施加到粘弹性体上。

附图说明

图1是实施例的基板用盒的载放台的俯视图。

图2是表示载放台上的支承台的主要部分放大俯视图。

图3是表示载放台上的支承台的主要部分放大侧面图。

图4是表示载放台上的导向部件的主要部分放大侧面图。

附号的说明

2载放台；4框架；5、6梁；8双臂的关节式臂；10臂；12轴；

14安装部；16液晶盒；18、19棂条；20、21支承台；22导向部

23安装板；24、25金属板；26粘弹性体；28树脂衬垫；30盖；

33安装板；32地线；34～36小螺钉。

具体实施方式

下面，说明用于实施本发明的最佳实施例。基于专利请求范围的记载，参照说明书的记载和本领域的公知技术，根据本领域技术人员的理解，应该能够确定本发明的范围，在不脱离发明精神的范围内能够进行各种变更。特别是，本说明书中记载的多个实施方式和变形例能够根据需要任意组合。

图1～图4表示实施例的载放台2。载放台2用于载放液晶盒16等，用作为关节式臂、滑叉等移载装置的一部分，但也可以用作为自动仓库中的液晶盒16等的架。此外，也可以代替液晶盒16，而是等离子面板显示器等的基板的盒。并且，在基于具备粘弹性体的支承台20的减振中，还可以并用专利文献1所记载的载放台2的倾斜控制。