[发明专利]基板用盒的载放台无效
| 申请号: | 201110165504.5 | 申请日: | 2011-06-20 |
| 公开(公告)号: | CN102372144A | 公开(公告)日: | 2012-03-14 |
| 发明(设计)人: | 寺谷茂 | 申请(专利权)人: | 村田自动化机械有限公司 |
| 主分类号: | B65G1/04 | 分类号: | B65G1/04 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 夏斌;陈萍 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 基板用盒 载放台 | ||
1.一种基板用盒的载放台,用于载放基板用盒,在底面具备多个梁,其特征在于,
在载放台主体上安装有多个具备粘弹性体的、上述梁的支承台,通过上述支承台支持上述盒的底面。
2.根据权利要求1所述的基板用盒的载放台,其特征在于,
从上下双方由至少一对金属板夹入上述粘弹性体,下方的金属板固定在上述载放台主体上,在上方的金属板的上面侧安装有对上述梁的底面进行支持的导电性树脂的衬垫,
并且设置有将上述衬垫与上述载放台主体接地的地线。
3.根据权利要求2所述的基板用盒的载放台,其特征在于,
上述上方的金属板以及上述衬垫的宽度比上述梁的宽度大,
在上述衬垫上,在上述梁的左右两个外侧的位置上,左右一对安装板被按压在上述衬垫的上面上,且上述左右一对安装板紧固在上述上方的金属板上。
4.根据权利要求1所述的基板用盒的载放台,其特征在于,
在上述载放台主体上设置有由一对导向部件构成的导向部,该导向部从两侧对上述梁进行引导。
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