[发明专利]三氯氢硅汽化装置无效
| 申请号： | 201110160672.5 | 申请日： | 2011-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN102285656A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 刘畅;王岭;张维;刘维 | 申请（专利权）人： | 四川新光硅业科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人： | 刘雪莲;林辉轮 |
| 地址： | 614000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 三氯氢硅 汽化 装置 | ||
1.一种三氯氢硅汽化装置，包括蒸发器、氢气输送管、三氯氢硅液体输送管、三氯氢硅气体输送管及混合气输送管，其特征在于：该三氯氢硅汽化装置还包括混合器，蒸发器的下端设有三氯氢硅液体入口、上端设置有三氯氢硅气体出口；三氯氢硅液体入口与三氯氢硅液体输送管相连通；
三氯氢硅液体输送管、氢气输送管上均设置有计量器；
混合器分别与氢气输送管、三氯氢硅气体输送管以及混合气输送管相连通。
2.根据权利要求1所述的三氯氢硅汽化装置，其特征在于：三氯氢硅液体输送管、氢气输送管上设置的计量器为流量调节阀和质量流量计组成的计量器。
3.根据权利要求1所述的三氯氢硅汽化装置，其特征在于：所述蒸发器包括列管式换热器。
4.根据权利要求3所述的三氯氢硅汽化装置，其特征在于：所述列管式换热器的管程与三氯氢硅液体输送管连通，壳程与输送外循环水的管道连通。
5.根据权利要求3所述的三氯氢硅汽化装置，其特征在于：所述列管式换热器的管程还设有液位计。
6.根据权利要求5所述的三氯氢硅汽化装置，其特征在于：所述液位计为内浮式磁性液位计。
7.根据权利要求5所述的三氯氢硅汽化装置，其特征在于：与蒸发器连通的输送外循环水的管道上设置有外循环水流量调节阀。
8.根据权利要求5所述的三氯氢硅汽化装置，其特征在于：所述外循环水流量调节阀与液位计组成控制回路。
9.根据权利要求3所述的三氯氢硅汽化装置，其特征在于：上述三氯氢硅汽化装置中，蒸发器的上部还设有分离室。
10.根据权利要求9所述的三氯氢硅汽化装置，其特征在于：分离室为筛网除沫器。
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