[发明专利]一种具有破片检测的晶圆输送设备

说明书

技术领域

本发明关于一种具有破片检测的晶圆输送设备，尤其是一种用于晶圆承载装置间的晶圆输送设备，而该晶圆输送设备更能够将其搬运的晶圆进行破片检测以及破片排除。

背景技术

太阳能电池目前主要材质主要为硅以及如砷化镓(GaAs)、碲化镉(CdTe)、锗...等元素或化合物，以提高将太阳能转为电能或热能的转换效率。基于不同的应用考量会采用不同的元素或化合物，例如：民生消费性产品通常是利用非晶硅太阳能电池板；太空中使用的是砷化镓太阳电池；若是用在沙漠、海洋等以发电为目的等大型电源则使用多晶硅太阳电池。

此外，应用于民生消费性产品的太阳能电池板，也会因为不同的电子产品，而输出不同大小的电压。同时，也会测量太阳能电池板的电性功能、基板正背面的缺陷、瑕疵、破片程度等。

在形成太阳能电池前一般称之为太阳能晶圆，太阳能晶圆片会进行相关测试与分类，无论是机台间的搬移或因出货需求，都会将太阳能晶圆迭层置放，而目前常见的晶圆承载装置主要有两种不同设计，一种为晶圆片匣(Gassette)，具有顶部、底部及左右侧壁，并且在两侧壁上形成有多个凸缘，而晶圆则从上述顶部、底部及左右侧壁所共同围绕出的侧向出入口进出，而另一种晶圆承载装置为晶圆片盒(magaz ine)，是一种上方形成有一个顶端汲放口的承载装置。

由于两种晶圆承载装置所移载晶圆的方式有很大差异，属于两种不同承载装置，因此在实际使用者的设厂过程中，往往会取其所需而自行组合运用，而同种或是两种晶圆承载装置之间的移动变换也是频繁出现的，但因晶圆在运送的过程中，很容易因为碰撞而产生轻微的结构瑕疵，即使以肉眼检视也无法轻易发现问题的所在，但待完成所有制造处理流程时，将会因晶圆表面破裂的情况，而导致实际电路受到不定程度受损的影响；

因此，若是能够于自动化检测过程中或是不同承载装置之间设置特定需求的破片检测，并分阶段性排除表面有破裂情况的晶圆，如此将能够有效地避免多余的制程与制程后的检测项目，以节省更多的制造成本与人力成本，应为一最佳解决方案。

发明内容

本发明的目的在于提供一种具有破片检测的晶圆输送设备，其操作简便，能够于承载装置输入、输出的搬运过程中进行破片检测，以排除有破裂情况的晶圆。

为达成上述发明目的，本发明公开了一种具有破片检测的晶圆输送设备，用于检测自晶圆承载装置输出的晶圆，该具有破片检测的晶圆输送设备包括：

一组于该晶圆承载装置及晶圆输送设备位置之间移动的汲取装置，用于搬运晶圆；

至少一组晶圆输送装置，包含有一输送带及一驱动机构，该驱动机构能够驱动该输送带，以使该晶圆能够于该输送带上被搬运；

多个破片检测器，设置于该输送带两侧下方，用以检测被搬运于该输送带上的晶圆，并判断晶圆是否有破裂的情况发生；以及

一组晶圆移转装置，设置于该输送带另一端，该晶圆移转装置包含至少一个晶圆汲取器、至少一组横向移动轨道、至少一组纵向移动轨道及多组输出轨道，其中该晶圆汲取器能够移动于该横向移动轨道及该纵向移动轨道上，因此当该晶圆汲取器汲取该晶圆输送装置上的晶圆时，能够进行横向或是纵向移动，以将该晶圆转移分配于该多组输出轨道上。

其中，该破片检测器上具有至少一个光接受端及至少一个光发射端，该光发射端用以照射该晶圆表面，并反射回该光接受端接收，以判断晶圆是否有破裂的情况发生。

其中，该晶圆承载装置为能够承载晶圆的晶圆片匣或晶圆片盒。

还公开了一种具有破片检测的晶圆输送设备，用于检测自晶圆承载装置输出的晶圆，该具有破片检测的晶圆输送设备包括：

一组于该晶圆承载装置及晶圆输送设备位置之间移动的汲取装置，用于搬运晶圆；

多个破片排除装置，包含有一输送带、一驱动机构、一连接于输送带下方的汽缸，其中该汽缸能透过该驱动机构改变该输送带的位置状态；

多组晶圆输送装置，包含有一输送带及一驱动机构，其中该输送带与该破片排除装置的输送带一端相连接，故该驱动机构能够驱动该输送带，以使该晶圆能够于该输送带上被搬运；

多个设置于该输送带两侧下方的破片检测器；以及

一组晶圆移转装置，设置于该破片排除装置的输送带另一端，而该晶圆移转装置包含至少一个晶圆汲取器、至少一组横向移动轨道、至少一组纵向移动轨道及多组输出轨道，其中该晶圆汲取器能够被搬运于该横向移动轨道及该纵向移动轨道上，因此当该晶圆汲取器汲取该晶圆输送装置上的晶圆时，能够进行横向或是纵向移动，以将该晶圆转移分配于该多组输出轨道上。