[发明专利]一种具有破片检测的晶圆输送设备

权利要求书

1.一种具有破片检测的晶圆输送设备，用于检测自晶圆承载装置输出的晶圆，该具有破片检测的晶圆输送设备包括：

一组于该晶圆承载装置及晶圆输送设备位置之间移动的汲取装置，用于搬运晶圆；

至少一组晶圆输送装置，包含有一输送带及一驱动机构，该驱动机构能够驱动该输送带，以使该晶圆能够于该输送带上被搬运；

多个破片检测器，设置于该输送带两侧下方，用以检测被搬运于该输送带上的晶圆，并判断晶圆是否有破裂的情况发生；以及

一组晶圆移转装置，设置于该输送带另一端，该晶圆移转装置包含至少一个晶圆汲取器、至少一组横向移动轨道、至少一组纵向移动轨道及多组输出轨道，其中该晶圆汲取器能够移动于该横向移动轨道及该纵向移动轨道上，因此当该晶圆汲取器汲取该晶圆输送装置上的晶圆时，能够进行横向或是纵向移动，以将该晶圆转移分配于该多组输出轨道上。

2.如权利要求1所述具有破片检测的晶圆输送设备，其特征在于，该破片检测器上具有至少一个光接受端及至少一个光发射端，该光发射端用以照射该晶圆表面，并反射回该光接受端接收，以判断晶圆是否有破裂的情况发生。

3.如权利要求1所述具有破片检测的晶圆输送设备，其特征在于，该晶圆承载装置为能够承载晶圆的晶圆片匣或晶圆片盒。

4.一种具有破片检测的晶圆输送设备，用于检测自晶圆承载装置输出的晶圆，该具有破片检测的晶圆输送设备包括：

一组于该晶圆承载装置及晶圆输送设备位置之间移动的汲取装置，用于搬运晶圆；

多个破片排除装置，包含有一输送带、一驱动机构、一连接于输送带下方的汽缸，其中该汽缸能透过该驱动机构改变该输送带的位置状态；

多组晶圆输送装置，包含有一输送带及一驱动机构，其中该输送带与该破片排除装置的输送带一端相连接，故该驱动机构能够驱动该输送带，以使该晶圆能够于该输送带上被搬运；

多个设置于该输送带两侧下方的破片检测器；以及

一组晶圆移转装置，设置于该破片排除装置的输送带另一端，而该晶圆移转装置包含至少一个晶圆汲取器、至少一组横向移动轨道、至少一组纵向移动轨道及多组输出轨道，其中该晶圆汲取器能够被搬运于该横向移动轨道及该纵向移动轨道上，因此当该晶圆汲取器汲取该晶圆输送装置上的晶圆时，能够进行横向或是纵向移动，以将该晶圆转移分配于该多组输出轨道上。

5.如权利要求4所述晶圆翻转装置，其特征在于，该破片排除装置的输送带上设置至少一个感测器，用以驱动该汽缸进行伸缩改变该输送带为水平状态或是下摆状态。

6.如权利要求4所述具有破片检测的晶圆输送设备，其特征在于，该破片检测器上具有至少一个光接受端及至少一个光发射端，该光发射端用以照射该晶圆表面，并反射回该光接受端接收，以判断晶圆是否有破裂的情况发生。

7.如权利要求4所述具有破片检测的晶圆输送设备，其特征在于，该晶圆承载装置为能够承载晶圆的晶圆片匣或晶圆片盒。

8.如权利要求4所述具有破片检测的晶圆输送设备，其特征在于，该破片排除装置的输送带下方能够添加设置一废料容器，用以容置晶圆表面具有破裂的晶圆片。