[发明专利]蒸镀装置

说明书

技术领域

本发明涉及镀膜领域，尤其涉及一种蒸镀装置。

背景技术

具有相机模组的便携式装置，例如，手机、笔记本电脑等，越来越受到消费者的青睐。为提升相机模组的光学性能，需要在透镜表面镀上多种镀膜，如抗反射膜，滤光膜等。镀膜均匀性直接影响透镜的光学性能。因此，如何提高镀膜均匀性是一个重要课题。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种能够提高镀膜均匀性的蒸镀装置。

一种蒸镀装置，其包括伞架，至少一个膜料盘，及驱动装置。该伞架用于承载待镀膜元件。该膜料盘与该伞架相对设置，用于盛放膜料。该驱动装置与该膜料盘相连接，用于驱动该膜料盘转动以改变该膜料的表面相对于该伞架的倾角。

本发明的蒸镀装置通过驱动该膜料盘以改变该膜料的表面相对于该伞架的倾角，从而改变膜料粒子的发射角度，进而提高镀膜的均匀性。

附图说明

图1是本发明较佳实施方式的蒸镀装置的示意图。

图2是图1的蒸镀装置的离子源、膜料盘、电子枪和驱动装置的立体示意图。

图3是图1的蒸镀装置的离子源、膜料盘、电子枪和驱动装置的另一角度的立体示意图。

图4是图1的IV区域的局部放大图。

主要元件符号说明

蒸镀装置10腔体11伞架12电子枪13离子源14膜料盘15驱动装置16平整盖17驱动轴18旋转轴122容置槽152待镀膜元件20膜料30电子束发射口132离子发射口142底座162驱动杆164

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。

具体实施方式

下面将结合附图及实施方式对本发明作进一步详细说明。