[发明专利]蒸镀装置无效
| 申请号： | 201110143654.6 | 申请日： | 2011-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN102808156A | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 裴绍凯 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
1.一种蒸镀装置，其包括：
伞架，该伞架用于承载待镀膜元件；
至少一个膜料盘，该膜料盘与该伞架相对设置，用于盛放膜料；及
与该膜料盘相连接的驱动装置，用于驱动该膜料盘转动以改变该膜料的表面相对于该伞架的倾角。
2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，该蒸镀装置进一步包括至少一个平整盖，该平整盖通过驱动轴连接于该膜料盘朝向该伞架的表面，该驱动轴可以驱动该平整盖沿着平行于驱动轴的方向运动，从而平整该容置槽内的膜料。
3.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，该膜料盘朝向该伞架的表面开设有用于收容该膜料的容置槽。
4.如权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，该蒸镀装置进一步包括至少一个平整盖，该平整盖通过驱动轴连接于该膜料盘朝向该伞架的表面，该驱动轴可以驱动该平整盖绕该驱动轴旋转，从而开启或遮挡该容置槽内的膜料。
5.如权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，该容置槽为圆柱形。
6.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，该至少一个膜料盘包括多个膜料盘，该蒸镀装置进一步包括离子源，该多个膜料盘围绕该离子源等间隔排布。
7.如权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，每两个相邻的膜料盘之间设置有一个电子枪。
8.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，该驱动装置为液压装置。
9.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，该膜料盘为扇形。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司，未经鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
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