[发明专利]一种用于石英坩埚清洗的自动配酸设备无效

专利信息
申请号: 201110122268.9 申请日: 2011-05-12
公开(公告)号: CN102775072A 公开(公告)日: 2012-11-14
发明(设计)人: 冯涛;金军 申请(专利权)人: 江苏华尔光电材料股份有限公司
主分类号: C03C15/00 分类号: C03C15/00
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 徐激波
地址: 225600 江苏省扬州市高邮市经*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 石英 坩埚 清洗 自动 设备
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种电气自动化控制设备,具体设计一种石英坩埚酸洗过程中所使用的酸的自动配制设备。

背景技术

目前,石英坩埚因其具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点,而得到广泛的应用。现有技术中,石英坩埚采用普通的无机酸进行清洗,该酸溶液通常为人为配制。这种方式存在以下缺点:在酸溶液配制过程中,需要使用到纯酸,由于纯酸酸性比较强,人为手动操作,会给人身安全带来隐患,工作的安全系数不高;另外,在人为手动的配酸过程中,酸溶液浓度比较难把握,工作效率不高。

发明内容

发明目的:为了克服现有技术中存在的不足,本发明提供一种石英坩埚酸洗过程中酸的自动配制设备,可以很准确的配得所需要浓度的酸溶液,而且可以保护工人安全、提高清洗效率。

技术方案:为实现上述目的,本发明的一种用于石英坩埚清洗的自动配酸设备,包括PLC控制系统、水容器、浓酸容器和混合液容器,所述水容器和浓酸容器分别与混合液容器通过管道连接,所述的水容器和混合液容器之间设有有第一阀门和第一泵,所述的浓酸容器和混合液之间设有第二阀门和第二泵,所述的混合容器底部连接第一出水管和第二出水管,第一出水管上设有第三泵和第三阀门,第二出水管上设有第四阀门。

PLC,为Programmable Logic Controller的缩写,即可编程逻辑控制器。本发明中所采用的PLC控制系统为西门子s7-300系列PLC控制,并与Wincc人机画面通过以太网通讯,完成人机监控和过程自动。

为了使得酸与水得到更好的混合,第二出水管在第三泵和第三阀门之间并入第一出水管;为了更准确的控制酸和水的流量,第一阀门、第二阀门、第三阀门上分别设有第一流量计、第二流量计、第三流量计。

本发明通过PLC控制系统自动完成整个设备控制,同时通过人机画面达到人对自动控制过程的监控。本发明包括三个容器,第一个容器为盛放酸的浓酸容器,第二个容器为盛放水的水容器,第三个容器为用于配酸的混合液容器,水容器和浓酸容器分别与混合液容器之间都通过管道连接,整个配酸过程为自动控制过程,不需要人体与各容器直接接触,且全过程监控酸浓度、流量等信号,各容器和管道主要用耐酸材料制作,防止酸溶液外泄,避免对人身产生危害。本发明中,向混合液容器加水量和加酸量靠流量计监控,再通过PLC控制系统控制相应的泵和阀完成配酸过程,整个控制过程中,各个传感器、泵、酸浓度、液位等状态和参数,均由WINCC制作的人机画面监控和显示,同时需要手动干预控制过程的也可通过画面直接完成。

有益效果:与现有技术相比,本发明的优点如下:

1.本发明通过PLC控制系统完成全部控制过程,可以提高工作效率和保障人身安全;

2.本发明通过PLC控制系统将整个控制过程中的信号采集到HMI画面,方便操作控制和设备维护;

3.酸浓度采用传感器检测,通过HMI画面显示,可有效监控容器中酸的浓度。

附图说明

图1为本发明的结构示意图;

图2为本发明的控制流程图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作更进一步的说明。

如图1和图2所示,本发明的一种用于石英坩埚清洗的自动配酸设备,包括PLC控制系统、水容器、浓酸容器和混合液容器,本实施例中所采用的PLC控制系统为西门子s7-300系列PLC控制系统,并与Wincc人机画面通过以太网通讯,完成人机监控和全过程自动控制;水容器和浓酸容器分别与混合液容器通过管道连接,水容器和混合液容器之间设有第一阀门1和第一泵2,浓酸容器和混合液之间连接有第二阀门4和第二泵5,混合容器底部连接第一出水管和第二出水管,第一出水管上设有第三泵7和第三阀门8,第二出水管上设有第四阀门9。

在本实施例中,第二出水管在第三泵7和第三阀门8之间并入第一出水管,使得酸和水得到充分的混合;水容器和浓酸容器分布设有限位传感器11,限位传感器11可以检测各容器内部的水或者浓酸是出于高位还是低位;第一阀门1、第二阀门4、第三阀门8上分别设有第一流量计3、第二流量计6、第三流量计10,可以更准确的控制酸和水的流量,而且可以作为PLC控制系统的输入参数。

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