[发明专利]一种用于石英坩埚清洗的自动配酸设备

权利要求书

1.一种用于石英坩埚清洗的自动配酸设备，其特征在于：包括PLC控制系统、水容器、浓酸容器和混合液容器，所述水容器和浓酸容器分别与混合液容器通过管道连接，所述的水容器和混合液容器之间设有第一阀门(1)和第一泵(2)，所述的浓酸容器和混合液之间设有第二阀门(4)和第二泵(5)，所述的混合容器底部连接第一出水管和第二出水管，第一出水管上设有第三泵(7)和第三阀门(8)，第二出水管上设有第四阀门(9)。

2.根据权利要求1所述的用于石英坩埚清洗的自动配酸设备，其特征在于：第二出水管在第三泵(7)和第三阀门(8)之间并入第一出水管。

3.根据权利要求1所述的用于石英坩埚清洗的自动配酸设备，其特征在于：所述的第一阀门(1)、第二阀门(4)、第三阀门(8)上分别设有第一流量计(3)、第二流量计(6)、第三流量计(10)。

4.根据权利要求1至3任一项所述的用于石英坩埚清洗的自动配酸设备，其特征在于：所述水容器、浓酸容器、混合液容器和管道均为由耐酸PVC材料制做而成的密封结构。