[发明专利]玻璃板检查装置及玻璃板检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及玻璃板检查装置及玻璃板检查方法。

背景技术

提出有各种检测玻璃板内的缺陷的方法。例如，在专利文献1中记载有使玻璃板移动的同时使光向玻璃板入射，通过该入射光及反射光检测缺陷的缺陷检测方法。而且，在专利文献1所记载的缺陷检测方法中，通过根据入射光检测出的缺陷和根据反射光检测出的缺陷，而求出缺陷的高度。此时，在专利文献1记载的缺陷检测方法中，根据图像中的缺陷的中心坐标，在基板移动方向的检索区域内进行检索，检索出与该缺陷大致相同尺寸或同样的尺寸的图案，而判定根据入射光检测出的缺陷和根据反射光检测出的缺陷。

另外，通常在检测缺陷时，利用相机(例如线性相机)拍摄玻璃板整面的图像，根据该图像检测缺陷。作为该图像的形态，有暗视场图像和明视场图像。

图15是表示暗视场图像的例子的说明图。暗视场图像是以暗色表示不符合缺陷的区域91，并以比不符合缺陷的区域91明亮的颜色表示符合缺陷的区域92的图像。

图16是表示明视场图像的例子的说明图。明视场图像是以明亮的颜色表示不符合缺陷的区域91，并以比不符合缺陷的区域91更明亮的颜色或比区域91暗的颜色表示符合缺陷的区域92的图像。在图16中，例示了以比区域91暗的颜色表示符合缺陷的区域92的情况。

通过拍摄得到的图像是成为暗视场图像还是成为明视场图像依赖于对玻璃板照射光的照明装置与相机的位置关系。当以使从照明装置照射而通过玻璃板(没有缺陷的玻璃板)的光不向相机入射的方式配置照明装置及相机时，得到暗视场图像。并且，通过因缺陷而散射的光入射到相机，符合缺陷的明亮的区域92(参照图15)显现在暗视场图像内。

另外，当以使从照明装置照射而通过玻璃板(没有缺陷的玻璃板)的光向相机入射的方式配置照明装置及相机时，得到明视场图像。并且，例如由于缺陷的存在，光发生散射而光不入射到相机时等，符合缺陷的暗的区域92(参照图16)出现在明视场图像内。

无论是在暗视场图像中还是在明视场图像中，都能够通过图像内的像素的亮度差来判定玻璃板是否存在缺陷。

专利文献1：日本特开2010-8177号公报

作为根据通过相机(下面，以线性相机的情况为例进行说明)拍摄到的玻璃板的图像来判定缺陷的方法，考虑有如下的方法。在该方法中，参照拍摄到的图像中的各像素的亮度值，判定有可能符合应检测缺陷的区域(缺陷候补)，计算该区域中的亮度积分值。并且，基于亮度积分值对缺陷候补的尺寸进行分类。而且，基于拍摄到的图像，对玻璃板内的高度方向的位置(以下，记为缺陷的高度)进行分类。预先确定与缺陷候补的尺寸及缺陷候补的高度相应的分数，并参照与基于亮度积分值而分类的缺陷候补的尺寸和分类的缺陷候补的高度相应的分数，若其值为阈值以上，则检测作为缺陷。在上述的缺陷检测方法中，与预先确定的缺陷候补的尺寸及缺陷候补的高度相应的分数的例子如表1所示。

[表1]

在表1中，例示出将缺陷候补的尺寸分类成“小”、“中”、“大”三个阶段并将缺陷候补的高度分类成“上”、“下”、“中间”三个阶段的情况。在本例中，在玻璃板的上表面侧配置照明装置及线性相机，以配置有照明装置及线性相机一侧的相反一侧的面为下表面。按缺陷候补的尺寸及缺陷候补的高度的组合来确定例如“10”、“20”、“50”、“100”、“200”等的分数。此时，在缺陷候补的尺寸及缺陷候补的高度的各组中，符合该组的缺陷的检测必要性越高，就确定越大的分数。例如，在表1所示的例子中，玻璃板的中间层中的小的缺陷候补是微小的缺陷，在检测的必要性低的前提下，相对于“小”及“中间”的组合而确定“10”这一分数。而且，对于玻璃板的上表面存在的大缺陷候补，在检测的必要性高的前提下，相对于“大”及“上”的组合而确定“200”这一分数。关于其他组合，根据检测作为缺陷的必要性而预先确定分数。

并且，如上所述，参照拍摄到的图像中的各像素的亮度值，判定有可能符合应检测缺陷的区域(缺陷候补)。另外，基于该区域中的亮度积分值对缺陷候补的尺寸进行分类，而且，基于图像对缺陷候补的高度进行分类。从预先准备好的表1读入与该分类结果的组合相应的分数，若该分数为阈值以上，则检测作为缺陷即可。例如，如表1所示确定各分数时，使用“50”等作为阈值即可。使用“50”作为阈值时，例如若缺陷候补对应于“小”及“上”的组合，则与该缺陷候补相关的分数为“50”，因此检测作为缺陷。而且，若缺陷候补对应于“小”及“中间”的组合，则与该缺陷候补相关的分数为“10”，小于阈值“50”，因此不检测作为缺陷。