[发明专利]一种金刚线切割硅片的制绒方法有效
| 申请号： | 201110112185.1 | 申请日： | 2011-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN102220645A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 李毕武;刘振淮;黄振飞 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C23F1/24;C23F1/40;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金刚 切割 硅片 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种金刚线切割硅片的制绒方法，其特征是：步骤如下：
(一)、金刚线切割的硅片进行清洗；
(二)、经过清洗好的硅片在H2SO4或H3PO4-HF-HNO3的混合酸溶液中进行酸腐蚀反应，各种酸的体积比为：H2SO4或H3PO4∶HF∶HNO3＝1-10∶1-8∶1-6，其中，H2SO4的重量百分浓度为98％，，HF的重量百分浓度为49％，HNO3的重量百分浓度为63％，H3PO4的重量百分浓度为85％，反应时间30-70s；
(三)、上述与酸反应好的硅片浸泡在碱制绒液中，反应时间在10s-30s；
(四)、上述反应好的硅片进行去离子水清洗；
(五)、将上述清洗好的硅片浸泡在HCl-HF溶液中30s-120s，再用去离子水清洗干净；
(六)、将反应清洗好的硅片烘干，再进行后续电池工艺制作。
2.根据权利要求1所述的金刚线切割硅片的制绒方法，其特征是：所述的H2SO4或H3PO4-HF-HNO3的混合酸溶液中各种酸的体积比为：H2SO4或H3PO4∶HF∶HNO3＝2-10∶1-4∶1-4。
3.根据权利要求1所述的金刚线切割硅片的制绒方法，其特征是：所述的碱制绒液为NaOH或KOH碱性稀溶液。
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