[发明专利]树脂密封装置及树脂密封方法

权利要求书

1.一种树脂密封装置，具有模具，所述模具具备第1模具、和通过驱动源可相对于该第1模具相对接近或背离的第2模具，

使搭载于基板上的被成形品与热固化性树脂一同配置于所述模具的腔内，进行该模具的减压、加热并对该被成形品施加压缩压力而进行树脂密封，其特征在于，具备：控制机构，所述控制机构，

分别将所述基板的厚度与所述被成形品的树脂密封厚度之和相当于构成所述腔的所述第1模具的表面与第2模具的表面之间的距离的、所述第2模具相对于该第1模具的基于所述驱动源的标志位置设为基准位置，

将在所述树脂与被成形品分别配置于所述第1模具与第2模具并被加热的状态下该树脂与被成形品非接触而即将接触之前的、该第2模具相对于该第1模具的所述标志位置设为第1位置，

将相对于所述第1模具比所述第1位置近但比所述基准位置远且在所述压缩压力即将上升之前的、所述第2模具相对于该第1模具的所述标志位置设为第2位置，

将相对于所述第1模具比所述基准位置近且在所述压缩压力刚刚上升之后的、所述第2模具相对于该第1模具的所述标志位置设为第3位置，

将相对于所述第1模具比所述基准位置近且所述压缩压力为施加于所述被成形品的最大压缩压力的、所述第2模具相对于该第1模具的所述标志位置设为第4位置，

使从所述第2位置向第3位置的所述第2模具相对于所述第1模具的基于所述驱动源的驱动速度，在所述模具的合模中最慢，并且使从所述第1位置向该第2位置的该驱动速度及从该第3位置向所述第4位置的该驱动速度快于从该第2位置向该第3位置的该驱动速度。

2.如权利要求1所述的树脂密封装置，其特征在于，

所述驱动源为旋转驱动源，基于该驱动源的标志位置为通过安装于该旋转驱动源的回转式编码器确定的位置。

3.如权利要求1或2所述的树脂密封装置，其特征在于，

从所述第3位置向所述第4位置的所述驱动速度，在从所述第2位置向第3位置的该驱动速度的3倍以上。

4.如权利要求1至3中任一项所述的树脂密封装置，其特征在于，

从所述第2位置向第3位置的所述驱动速度换算为所述第2模具相对于所述第1模具零负荷时的接近速度，最大为0.2mm/sec，并且，

从所述第3位置向所述第4位置的该驱动速度换算为该零负荷时的接近速度为1mm/sec以上。

5.如权利要求1至4中任一项所述的树脂密封装置，其特征在于，

所述第3位置的压缩压力为1Mpa至2MPa之间。

6.如权利要求1至5中任一项所述的树脂密封装置，其特征在于，

所述第1位置中从基于所述驱动源的标志位置求出的所述第1模具的表面与所述第2模具的表面的距离，为所述基板厚度与所述树脂密封厚度4倍以上的值之和。

7.如权利要求1至6中任一项所述的树脂密封装置，其特征在于，

所述控制机构进一步将所述第1位置与第2位置之间的所述标志位置设为第5位置，

使从该第5位置向第2位置的所述驱动速度慢于从所述第3位置向第4位置的所述驱动速度。

8.如权利要求7所述的树脂密封装置，其特征在于，

所述第5位置中从基于所述驱动源的标志位置求出的所述第1模具的表面与所述第2模具的表面的距离，为所述基板厚度与所述树脂密封厚度的1.8倍以上的值之和。

9.如权利要求1至8中任一项所述的树脂密封装置，其特征在于，

所述模具被加热成预定温度，

从所述树脂搭载于所述腔之后到所述第2模具移动至所述第3位置为止的时间，为所述温度中所述树脂的凝胶时间的20％至40％之间。

10.一种树脂密封方法，所述方法利用具备第1模具、和通过驱动源可相对于该第1模具相对地接近或背离的第2模具的模具，

使搭载于基板上的被成形品与热固化性树脂一同配置于所述模具的腔内，进行该模具的减压、加热并对该被成形品施加压缩压力而进行树脂密封，其特征在于，包括：

分别将所述基板的厚度与所述被成形品的树脂密封厚度之和相当于构成所述腔的所述第1模具的表面与第2模具的表面之间的距离的、所述第2模具相对于该第1模具的基于所述驱动源的标志位置设为基准位置，

将在所述树脂与被成形品分别配置于所述第1模具与第2模具并被加热的状态下该树脂与被成形品非接触而即将接触之前的、该第2模具相对于该第1模具的所述标志位置设为第1位置，

将相对于所述第1模具比所述第1位置近但比所述基准位置远且在所述压缩压力即将上升之前的、所述第2模具相对于该第1模具的所述标志位置设为第2位置，

将相对于所述第1模具比所述基准位置近且在所述压缩压力刚刚上升之后的、所述第2模具相对于该第1模具的所述标志位置设为第3位置，

将相对于所述第1模具比所述基准位置近且所述压缩压力为施加于所述被成形品的最大压缩压力的、所述第2模具相对于该第1模具的所述标志位置设为第4位置，

使从所述第2位置向第3位置的所述第2模具相对于所述第1模具的基于驱动源的驱动速度，在所述模具的合模中最慢的工序，及

使从所述第1位置向该第2位置的该驱动速度及从该第3位置向所述第4位置的该驱动速度快于从该第2位置向该第3位置的该驱动速度地进行的工序。