[发明专利]晶粒的可配置制程变异监控电路及其监控方法无效

专利信息
申请号: 201110107702.6 申请日: 2011-04-27
公开(公告)号: CN102760639A 公开(公告)日: 2012-10-31
发明(设计)人: 陈莹晏;李日农 申请(专利权)人: 瑞昱半导体股份有限公司
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00;H01L21/66
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 余刚;吴孟秋
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 晶粒 配置 变异 监控 电路 及其 方法
【权利要求书】:

1.一种晶粒的可配置制程变异监控电路,包括:

一环形振荡器,包括多个第一标准胞元、多个第二标准胞元以及多个多工器,根据一选择信号以一第一模式或一第二模式产生一振荡信号;

一分频器,耦接所述环形振荡器,以一分频倍数分频所述振荡信号,产生一分频信号;以及

一频率检测器,耦接所述分频器,藉由一基本时钟计数所述分频信号的周期,产生一输出计数值;

其中,所述输出计数值与所述晶粒的制程变异有关。

2.根据权利要求1所述的监控电路,其中,所述环形振荡器包括:

一第一路径,包括多个第一多工器以及由所述这些第一标准胞元构成的多个第一反向器;

一第二路径,包括多个第二多工器以及由所述这些第二标准胞元构成的多个第二反向器;

一选择控制电路,耦接所述第一路径及所述第二路径,根据所述选择信号使能所述第一路径、所述第二路径或所述第一路径及所述第二路径;以及

一第三多工器,耦接在所述第一路径、第二路径以及一输出端之间。

3.根据权利要求2所述的监控电路,其中,所述第一路径及所述第二路径分别包括一长布线路径以及一正常布线路径。

4.根据权利要求3所述的监控电路,还包括一第四多工器,受控切换以使所述振荡信号经由所述长布线路径或所述正常布线路径而产生。

5.根据权利要求2所述的监控电路,其中,所述振荡信号在所述第一模式下经由所述第一路径或所述第二路径产生,在所述第二模式下则经由所述第一路径及所述第二路径产生。

6.根据权利要求5所述的监控电路,其中,所述分频倍数在所述第一模式下与所述第一标准胞元或所述第二标准胞元相关,在所述第二模式下与所述第一标准胞元及所述第二标准胞元相关。

7.根据权利要求1所述的监控电路,其中,所述环形振荡器、所述分频器以及所述频率检测器设置于所述晶粒上。

8.根据权利要求1所述的监控电路,还包括:

一设定电路,提供一标准计数值;以及

一比较电路,将所述输出计数值与所述标准计数值相比较,以产生一筛选信号;

其中,所述筛选信号用以决定所述晶粒的分级。

9.根据权利要求8所述的监控电路,其中,所述设定电路包括一使用者接口以及一缓存器。

10.根据权利要求1所述的监控电路,其中,所述这些第一标准胞元为与非门,所述这些第二标准胞元为或非门。

11.一种晶粒的可配置制程变异监控方法,包括下列步骤:

根据一选择信号将一环形振荡器切换以一第一模式或一第二模式产生一振荡信号;

以一分频倍数分频所述振荡信号,产生一分频信号;以及

藉由一基本时钟计数所述分频信号的周期,产生一输出计数值;

其中,所述环形振荡器包括多个第一标准胞元、多个第二标准胞元以及多个多工器,且所述输出计数值与所述晶粒的制程变异有关。

12.根据权利要求11所述的监控方法,其中,所述环形振荡器包括:

由多个第一多工器以及所述这些第一标准胞元组成的第一路径;

由多个第二多工器以及所述这些第二标准胞元组成的第二路径;

一选择控制电路,耦接所述第一路径及所述第二路径,根据所述选择信号使能所述第一路径、所述第二路径或所述第一路径及所述第二路径;以及

一第三多工器,耦接在所述第一路径、第二路径以及一输出端之间。

13.根据权利要求12所述的监控方法,其中,所述第一路径及所述第二路径分别还包括一长布线路径以及一正常布线路径。

14.根据权利要求13所述的监控方法,还包括一第四多工器,受控切换以使所述振荡信号经由所述长布线路径或所述正常布线路径产生。

15.根据权利要求12所述的监控方法,其中,所述根据一选择信号将一环形振荡器切换以一第一模式或一第二模式产生一振荡信号的步骤包括:

在所述第一模式下经由所述第一路径或所述第二路径产生所述振荡信号;以及

在所述第二模式下经由所述第一路径及所述第二路径产生所述振荡信号。

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