[发明专利]铁基合金表面镀膜方法及由该方法其制得的镀膜件无效

专利信息
申请号: 201110106348.5 申请日: 2011-04-27
公开(公告)号: CN102758182A 公开(公告)日: 2012-10-31
发明(设计)人: 张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;王莹莹 申请(专利权)人: 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;C23C14/24;C23C14/16;C23C14/10;C23C14/08;C23C14/06;C23C14/35;C23C14/30;B32B9/04;B32B15/00
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地址: 518109 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 合金 表面 镀膜 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种铁基合金表面镀膜方法及由该方法制得的镀膜件。

背景技术

铁基合金(比如模具钢)在高温下使用时,表面很容易被氧化,高温形成的不均匀氧化层不仅会降低产品的表面质量,而且铁基合金在重复使用的过程中,形成的氧化皮膜易剥落,暴露的基体在高温下将会继续被腐蚀,降低了铁基合金的使用寿命。

发明内容

有鉴于此,有必要提供一种铁基合金表面镀膜方法,使铁基合金表面具有较好的高温抗氧化性。

另外,还有必要提供一种上述镀膜方法制得的镀膜件。

一种铁基合金表面镀膜方法,包括以下步骤:

提供铁基合金基体;

于基体上溅镀铬金属层;

于铬金属层上蒸镀二氧化硅层;

于二氧化硅层上蒸镀氧化铝层;

于氧化铝层上蒸镀氮化硼层。

一种镀膜件,包括铁基合金基体,该镀膜件还包形成于基体上的铬金属层、形成于铬金属层上的二氧化硅层、形成于二氧化硅层的氧化铝层以及形成于氧化铝层上的氮化硼层。

上述镀膜件采用铬金属层做打底层,增加了整个膜层与铁基合金基体的结合力。二氧化硅层及氧化铝层熔点高,具有很好的致密性,可以阻止氧气渗入,保护基体高温下不被氧化。氮化硼层具有较好的润滑性,当镀膜件用于模具时,可以提高基体表面的流动性,易于脱模。

附图说明

图1为本发明较佳实施例的镀膜件的剖视示意图。

图2为本发明较佳实施例的铁基合金表面镀膜方法中所用溅射设备的示意图。

图3为本发明较佳实施例的铁基合金表面镀膜方法中所用蒸镀设备的示意图。

主要元件符号说明

镀膜件10基体11铬金属层13二氧化硅层14氧化铝层15氮化硼层16溅射设备30真空室31真空泵32气源通道33转架35铬靶36蒸发电源39蒸镀设备40镀膜室41支撑架43蒸镀靶材45

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