[发明专利]用于存储和传送大基板的密闭垂直支架无效
| 申请号: | 201110104055.3 | 申请日: | 2011-04-20 |
| 公开(公告)号: | CN102237290A | 公开(公告)日: | 2011-11-09 |
| 发明(设计)人: | 詹姆斯·兰德斯;潘查拉·N·坎卡纳拉;杰弗里·S·沙利文;彼得·兰纳 | 申请(专利权)人: | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;钟强 |
| 地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 存储 传送 大基板 密闭 垂直 支架 | ||
1.一种用于存储和传输大基板的密闭垂直支架,所述密闭垂直支架包括:
可移动基座;
在所述基座上的外壳,用于容纳至少一个基板,其中所述外壳具有气体入口;
在所述外壳中的对准工具,用于接收基板和稍微倾斜基板;和
可密封门,用于密闭所述外壳,其中所述门的尺寸允许基板穿过。
2.如权利要求1所述的密闭垂直支架,其中所述气体入口包括截止阀或者被集成在速断器中。
3.如权利要求1所述的密闭垂直支架,其中所述外壳或者所述门具有气体出口。
4.如权利要求3所述的密闭垂直支架,其中所述气体出口包括检查阀或者安全阀。
5.如权利要求1所述的密闭垂直支架,其中所述可移动基座具有移动工具。
6.如权利要求5所述的密闭垂直支架,其中所述移动工具包括叉式升降槽。
7.如权利要求5所述的密闭垂直支架,其中所述移动工具包括转向轮。
8.如权利要求5所述的密闭垂直支架,其中所述移动工具包括轨道轮或者提升钩。
9.如权利要求1所述的密闭垂直支架,其中所述对准工具包括分别设置在外壳顶部和底部上的顶刷和底刷,并且其中所述顶刷自所述底刷横向偏移。
10.如权利要求9所述的密闭垂直支架,其中所述对准工具包括设置在所述顶刷和所述底刷的凸起两侧上的滚柱,设置方式使得所述滚柱能向内和向外滚动。
11.如权利要求1所述的密闭垂直支架,进一步包括在所述可密封门的内表面上的传送限制器。
12.如权利要求11所述的密闭垂直支架,其中所述传送限制器是弹性构件或者是可膨胀构件。
13.如权利要求12所述的密闭垂直支架,其中所述可膨胀部件具有气体入口和气体出口,所述气体入口和气体出口能够在所述可密封门外部进出。
14.一种用于存储和传送大基板的密闭垂直支架,所述密闭垂直支架包括:
可移动基座,其具有包括叉式升降槽、提升钩、轨道轮或者转向轮的移动工具;
在所述基座上的外壳,用于容纳至少一个基板,其中所述外壳具有气体入口;
设置在所述外壳顶部上的顶刷;
设置在所述外壳底部上的底刷,其中所述顶刷和所述底刷限定了用于接收基板的多个狭槽,并且所述顶刷自所述底刷横向偏移以稍微倾斜基板;和
可密封门,用于密封所述外壳,其中所述门的尺寸允许基板穿过。
15.如权利要求14所述的密闭垂直支架,其中所述气体入口包括截止阀或者被集成到速断器中。
16.如权利要求14所述的密闭垂直支架,其中所述外壳或者所述门包括气体出口。
17.如权利要求16所述的密闭垂直支架,其中所述气体出口包括检查阀或者安全阀。
18.如权利要求14所述的密闭垂直支架,进一步包括在所述可密封门的内表面上的传送限制器。
19.如权利要求14所述的密闭垂直支架,其中所述传送限制器是弹性构件和可膨胀构件。
20.如权利要求19所述的密闭垂直支架,其中所述可膨胀构件具有气体入口和气体出口,所述气体入口和气体出口能够在所述可密封门外部进出。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





