[发明专利]阵列基板及其制造方法和液晶显示器无效

专利信息
申请号: 201110103069.3 申请日: 2011-04-22
公开(公告)号: CN102446913A 公开(公告)日: 2012-05-09
发明(设计)人: 朴相镇 申请(专利权)人: 北京京东方光电科技有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L29/786;H01L29/417;H01L21/77;G02F1/1362;G02F1/1368
代理公司: 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人: 申健
地址: 100176 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 阵列 及其 制造 方法 液晶显示器
【权利要求书】:

1.一种阵列基板,包括衬底基板,衬底基板上形成横纵交叉的数据线和栅线,围设形成矩阵形式排列的多个像素单元,每个像素单元中设置有开关元件,其特征在于:

每个所述开关元件包括栅电极、有源层、源电极和漏电极,所述源电极和漏电极的端部对置;

所述源电极或漏电极至少部分图案的上方和/或下方还形成有扩展导电部,所述扩展导电部的图案超出自身所接触的源电极或漏电极的范围,向沟道方向延伸且与有源层接触。

2.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于:所述扩展导电部材料为透明导电材料或金属材料制成。

3.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于:所述沟道的长度为2.0~3.5微米。

4.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于:所述源电极、漏电极、有源层和数据线形成在栅极绝缘层上,所述栅极绝缘层上还形成有像素电极或公共电极,所述扩展导电部与所述像素电极或公共电极采用相同材料同步形成。

5.一种阵列基板的制造方法,至少包括在衬底基板上形成开关元件图案的流程,所述开关元件包括栅电极、有源层、源电极和漏电极,其特征在于,在形成开关元件中源电极和漏电极的图案之前或之后,还包括:

形成导电薄膜,采用构图工艺形成包括扩展导电部的图案,所述扩展导电部对应于源电极或漏电极至少部分图案的上方和/或下方,扩展导电部的图案超出自身所接触的源电极或漏电极的范围,向沟道方向延伸且与有源层接触。

6.根据权利要求5所述的阵列基板的制造方法,其特征在于,所述扩展导电部与阵列基板上的像素电极或公共电极同步形成,则形成导电薄膜,采用构图工艺形成包括扩展导电部的图案具体包括:

形成透明导电薄膜,采用构图工艺形成包括像素电极或公共电极的图案,且同时形成扩展导电部的图案。

7.根据权利要求5所述的阵列基板的制造方法,其特征在于,所述衬底基板上还形成有栅线、数据线、公共电极和像素电极,则在衬底基板上形成数据线、栅线、开关元件、像素电极和公共电极图案的流程包括:

在所述衬底基板上形成栅金属薄膜,采用构图工艺形成包括栅线和栅电极的图案;

在形成上述图案的衬底基板上形成栅极绝缘层;

在所述栅极绝缘层上形成有源层薄膜,采用构图工艺形成包括有源层的图案;

在形成上述图案的衬底基板上形成第一透明导电薄膜,采用构图工艺形成包括像素电极和扩展导电部的图案;

在形成上述图案的衬底基板上形成数据金属薄膜,采用构图工艺形成包括数据线、源电极和漏电极的图案;

在形成上述图案的衬底基板上形成钝化层;

在所述钝化层上形成第二透明导电薄膜,采用构图工艺形成包括公共电极的图案。

8.一种液晶显示器,包括液晶面板,其特征在于:所述液晶面板包括对盒设置的彩膜基板和权利要求1~4任一所述的阵列基板。

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