[发明专利]阵列基板及其制造方法和液晶显示器无效
申请号: | 201110103069.3 | 申请日: | 2011-04-22 |
公开(公告)号: | CN102446913A | 公开(公告)日: | 2012-05-09 |
发明(设计)人: | 朴相镇 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02;H01L29/786;H01L29/417;H01L21/77;G02F1/1362;G02F1/1368 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100176 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阵列 及其 制造 方法 液晶显示器 | ||
1.一种阵列基板,包括衬底基板,衬底基板上形成横纵交叉的数据线和栅线,围设形成矩阵形式排列的多个像素单元,每个像素单元中设置有开关元件,其特征在于:
每个所述开关元件包括栅电极、有源层、源电极和漏电极,所述源电极和漏电极的端部对置;
所述源电极或漏电极至少部分图案的上方和/或下方还形成有扩展导电部,所述扩展导电部的图案超出自身所接触的源电极或漏电极的范围,向沟道方向延伸且与有源层接触。
2.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于:所述扩展导电部材料为透明导电材料或金属材料制成。
3.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于:所述沟道的长度为2.0~3.5微米。
4.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于:所述源电极、漏电极、有源层和数据线形成在栅极绝缘层上,所述栅极绝缘层上还形成有像素电极或公共电极,所述扩展导电部与所述像素电极或公共电极采用相同材料同步形成。
5.一种阵列基板的制造方法,至少包括在衬底基板上形成开关元件图案的流程,所述开关元件包括栅电极、有源层、源电极和漏电极,其特征在于,在形成开关元件中源电极和漏电极的图案之前或之后,还包括:
形成导电薄膜,采用构图工艺形成包括扩展导电部的图案,所述扩展导电部对应于源电极或漏电极至少部分图案的上方和/或下方,扩展导电部的图案超出自身所接触的源电极或漏电极的范围,向沟道方向延伸且与有源层接触。
6.根据权利要求5所述的阵列基板的制造方法,其特征在于,所述扩展导电部与阵列基板上的像素电极或公共电极同步形成,则形成导电薄膜,采用构图工艺形成包括扩展导电部的图案具体包括:
形成透明导电薄膜,采用构图工艺形成包括像素电极或公共电极的图案,且同时形成扩展导电部的图案。
7.根据权利要求5所述的阵列基板的制造方法,其特征在于,所述衬底基板上还形成有栅线、数据线、公共电极和像素电极,则在衬底基板上形成数据线、栅线、开关元件、像素电极和公共电极图案的流程包括:
在所述衬底基板上形成栅金属薄膜,采用构图工艺形成包括栅线和栅电极的图案;
在形成上述图案的衬底基板上形成栅极绝缘层;
在所述栅极绝缘层上形成有源层薄膜,采用构图工艺形成包括有源层的图案;
在形成上述图案的衬底基板上形成第一透明导电薄膜,采用构图工艺形成包括像素电极和扩展导电部的图案;
在形成上述图案的衬底基板上形成数据金属薄膜,采用构图工艺形成包括数据线、源电极和漏电极的图案;
在形成上述图案的衬底基板上形成钝化层;
在所述钝化层上形成第二透明导电薄膜,采用构图工艺形成包括公共电极的图案。
8.一种液晶显示器,包括液晶面板,其特征在于:所述液晶面板包括对盒设置的彩膜基板和权利要求1~4任一所述的阵列基板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的