[发明专利]吸盘、吸盘系统及具有该吸盘的传输系统

说明书

技术领域

本发明涉及微电子技术领域，特别涉及一种吸盘、吸盘系统及具有该吸盘的传输系统。

背景技术

太阳能平板式等离子增强型化学气象沉积(PECVD)设备中，电池片(晶片)的载具为一石墨载板，在石墨载板上摆放多个电池片同时进行工艺时，为防止电池片滑动，可在石墨载板上设置多个小格，然后将电池片摆放在这些规划好的小格内。

但是，由于石墨载板进行工艺后通常出现变形，导致普通的自动化设备无法将电池片准确地从小格内取放，因此，通常采用机械手从小格内对电池片进行取放。该机械手通过机械手臂一端安装的吸盘对电池片进行吸放。

现有技术的缺点是：吸盘结构复杂且碎片率高，因此亟待改进。

发明内容

本发明的目的旨在至少解决上述技术缺陷之一。

为此，本发明的目的在于提出一种能够快速吸放吸片、有效防止吸片破碎且轻巧的吸盘。

本发明的另一目的在于提出一种具有上述吸盘的吸盘系统。

本发明的再一目的在于提出一种具有上述吸盘系统的传输系统。

为了实现上述目的，本发明第一方面实施例提出的吸盘，包括：吸盘本体，所述吸盘本体具有多个出气孔，所述多个出气孔与第一气体通路相连，所述多个出气孔用于在放置晶片时向外排出第一气体通路中的由第一气源所提供的气体；和围绕所述吸盘本体均匀分布的多个真空吸盘，其中，所述多个真空吸盘的吸附面位于同一平面，且所述多个真空吸盘与第二气体通路相连，所述多个真空吸盘用于在放置晶片时向外排出所述第二气体通路中的由所述第一气源所提供的气体、以及用于在吸取晶片时通过所述第二气体通路与真空源相连以产生真空吸力。

本发明实施例的吸盘结构简单。本发明实施例通过一种气体通过第一气体通路向吸盘本体的多个出气孔外吹气，通过第二气体通路向真空吸盘内通入真空，以使真空吸盘吸片，通过第二气体通路向真空吸盘内通入其它气体，例如无尘干燥气体或，以使真空吸盘放片，从而达到快速吸放片的目的。

在本发明的一个实施例中，每个所述真空吸盘分别通过连接杆与所述吸盘本体相连，其中，所述连接杆的一端设有所述真空吸盘，所述连接杆的另一端与所述吸盘本体相连。

在本发明的一个实施例中，所述吸盘还包括：匀流罩，所述匀流罩与所述吸盘本体限定有匀流腔，所述匀流腔与所述多个出气孔相通，且所述匀流腔与第一气体通路相连。

在本发明的一个实施例中，所述第一气源为无尘干燥气源，且所述第一气体为无尘干燥气体。

在本发明的一个实施例中，所述真空吸盘为风琴式吸盘。当所述风琴式吸盘通过所述第二气体通路与所述真空源相连且吸取晶片时，所述风琴式吸盘收缩以使所述晶片与所述吸盘本体的下表面贴合。这样，本发明在吸盘吸取了晶片时由于晶片与吸盘本体之间贴合从而产生摩擦力，这样在吸取晶片后的运输过程中晶片不会被甩出去，从而进一步降低晶片的碎片率。优选地，所述吸盘本体的表面设有防滑胶，防滑胶不仅可以增大晶片与吸盘本体之间的摩擦力，另外由于防滑胶的弹性也可以防止晶片与吸盘本体之间碰撞产生碎片的可能。

本发明第二方面实施例提出的吸盘系统，包括：第一气源和第二气源，所述第一气源用于提供卸载被吸附晶片的气体，且第二气源用于抽真空以产生对晶片的真空吸力；第一开关和第二开关，所述第一开关与所述第一气源相连，所述第二开关分别与所述第一气源和所述第二气源相连；吸盘，所述吸盘为上述实施例的吸盘，其中，所述吸盘的第一气体通路与所述第一开关相连，所述吸盘的第二气体通路与所述第二开关相连；驱动器，所述驱动器与所述吸盘相连，所述驱动器用于驱动所述吸盘运动；和控制器，所述控制器对所述第一开关、第二开关和驱动器进行控制以取放晶片。

根据本发明实施例的吸盘系统，在吸盘吸片过程中，控制器控制第一开关关闭第一气源向吸盘本体的出气孔向外排气，同时控制第二开关切换以使第二气源通入吸盘的真空吸盘内，从而由于真空的作用，驱动装置驱动吸盘靠近吸片，吸片被吸附在真空吸盘的表面，而达到吸盘的自动吸片。另外，在吸盘放片过程中，控制器控制第一开关开启第一气源向吸盘本体的出气孔向外排气，同时控制第二开关切换以使第一气源通入吸盘的真空吸盘内，从而在第一气源、吸盘重力的作用下，驱动装置驱动吸盘上移以使吸片脱离吸盘，而达到吸盘的自动放片。

在本发明的一个实施例中，所述第一气源为无尘干燥气源，所述第二气源为真空源。

在本发明的一个实施例中，所述第二开关为两位三通电磁阀，所述第二开关的两个输入端分别与所述第一气源和所述第二气源相连。