[发明专利]一种检测装置及其工作方法

说明书

技术领域

本发明涉及机械技术领域，尤其涉及一种检测装置及其工作方法。

背景技术

电子束矩阵检测技术是目前TFT LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，薄膜场效应晶体管液晶显示器)行业最为常用的检测技术之一，通常在真空环境中，通过设置于测试腔内的探针框架对待测基板上的垫片PAD进行信号导入，再对加入信号的像素进行测试而得到检测结果。由于不同型号的玻璃基板，其形状和PAD的分布都有所不同，因此对不同的产品型号，需要更换其对应的探针框架，才能对待测玻璃基板实施有效的测试。虽然目前业界对产品设计和探针框架结构都做出了许多改进并取得了一定效果，但生产中较为频繁地安装或更换探针框架还是不可避免的。

在实现上述探针框架的安装或更换的过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题：由于测试腔体积较大，打开测试腔进行安装或更换探针框架后，再恢复测试腔中检测所需的真空环境要经历较长的时间，因此大大降低了检测效率。

发明内容

本发明的实施例提供了一种检测装置及其工作方法，能够有效提高检测效率。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

一种检测装置，包括测试腔和交换腔，所述测试腔和交换腔之间设置有连通机构，所述连通机构能够使所述测试腔和所述交换腔彼此隔离或连通；

所述测试腔内和交换腔内分别设有用于传送探针框架的传动装置，所述传动装置能够将所述探针框架从所述测试腔传送至所述交换腔或者从所述交换腔传送至所述测试腔。

一种检测装置的工作方法，包括：

将所述检测装置的交换腔与所述检测装置的测试腔相隔离；

对所述交换腔进行抽真空操作，使所述交换腔的真空度与所述测试腔的真空度相同；

将所述交换腔与所述测试腔相连通；

将探针框架从所述测试腔传送至所述交换腔或者从所述交换腔传送至所述测试腔。

本发明实施例提供的检测装置及其工作方法，由于检测装置包括测试腔和能够与测试腔连通或隔离的交换腔，因此进行探针框架的更换时，能够以交换腔作为媒介，对与测试腔隔离的交换腔进行抽真空操作，当交换腔的真空度与测试腔相同时，将交换腔与测试腔相连通，将探针框架从所述测试腔传送至所述交换腔或者从所述交换腔传送至所述测试腔。这样，在更换探针框架的过程中，不会破坏测试腔的真空环境，不需要等待测试腔恢复真空环境，因此，减少了更换探针框架所需要的时间，有效提高了检测效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的检测装置的一种俯视结构示意图；

图2为本发明实施例提供的检测装置交换腔的一种俯视结构示意图；

图3为本发明实施例提供的检测装置的一种侧面结构示意图；

图4为本发明实施例提供的检测装置的一种卡位装置和锁定装置的接合示意图；

图5为本发明实施例提供的检测装置的一种侧面结构示意图；

图6为图5所示的虚线部分的信号线连接部和信号线对接部的连接方式示意图；

图7为图6所示的信号线连接部和信号线对接部的具体连接方式示意图；

图8为本发明实施例提供的检测装置的工作方法的一种流程图。

附图标记

1-测试腔，12-信号线连接部，2-交换腔，3-连通机构，41-测试腔内的传动装置，411-测试腔内的传动滚轮，413-传动部，42-交换腔内的传动装置，421-交换腔内的传动滚轮，43-导向轮，5-探针框架，52-信号线对接部，6-支撑框架，7-信号线对接针，8-信号线对接孔，9-金属弹片。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行详细描述。

应当明确，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1所示，本发明实施例提供了一种检测装置，包括测试腔1和交换腔2，测试腔1和交换腔2之间设置有连通机构3，连通机构3能够使测试腔1和交换腔2彼此隔离或连通。