[发明专利]一种检测装置及其工作方法

权利要求书

1.一种检测装置，其特征在于，

包括测试腔和交换腔，所述测试腔和交换腔之间设置有连通机构，所述连通机构能够使所述测试腔和所述交换腔彼此隔离或连通；

所述测试腔内和交换腔内分别设有用于传送探针框架的传动装置，所述传动装置能够将所述探针框架从所述测试腔传送至所述交换腔或者从所述交换腔传送至所述测试腔。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述交换腔的容积小于所述测试腔的容积。

3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述传动装置包括：传动滚轮或传送带。

4.根据权利要求1或3所述的检测装置，其特征在于，所述传动装置包括传动轨道，所述传动轨道的至少一侧设置有导向装置。

5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，

所述测试腔内设有与所述探针框架形状相适应的支撑框架；

所述测试腔内的传动装置包括将所述探针框架传送至所述支撑框架上的传动部。

6.根据权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述支撑框架设有卡位装置，以将所述探针框架固定在所述支撑框架上。

7.根据权利要求6所述的检测装置，其特征在于，

所述探针框架上设置有与所述卡位装置对应的锁定装置；

所述卡位装置和所述锁定装置的接合将所述探针框架固定在所述支撑框架上。

8.根据权利要求7所述的检测装置，其特征在于，

所述卡位装置包括凸起，所述锁定装置包括与所述凸起相适应的凹槽，所述凹槽与所述凸起的对接将所述探针框架固定在所述支撑框架上；或者，

所述卡位装置包括凹槽，所述锁定装置包括与所述凹槽相适应的凸起，所述凹槽与所述凸起的对接将所述探针框架固定在所述支撑框架上。

9.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，

所述测试腔内设置有可移动的信号线连接部；

所述探针框架上设有用于与所述信号线连接部相连接的信号线对接部；

所述探针框架通过所述信号线连接部和所述信号线对接部的连接与信号线相连接。

10.根据权利要求9所述的检测装置，其特征在于，

所述信号线连接部包括信号线对接针，所述信号线对接部包括信号线对接孔，所述信号线对接针与所述信号线对接孔的接合使所述信号线连接部和所述信号线对接部相连接；

或者

所述信号线连接部包括信号线对接孔，所述信号线对接部包括信号线对接针，所述信号线对接孔与所述信号线对接针的接合使所述信号线连接部和所述信号线对接部相连接。

11.根据权利要求10所述的检测装置，其特征在于，所述信号线对接孔内壁上设有金属弹片，用于与所述信号线对接针紧密接合。

12.一种检测装置的工作方法，其特征在于，包括：

将所述检测装置的交换腔与所述检测装置的测试腔相隔离；

对所述交换腔进行抽真空操作，使所述交换腔的真空度与所述测试腔的真空度相同；

将所述交换腔与所述测试腔相连通；

将探针框架从所述测试腔传送至所述交换腔或者从所述交换腔传送至所述测试腔。

13.根据权利要求12所述的工作方法，其特征在于，在将所述探针框架从所述交换腔传送至所述测试腔后，所述工作方法还包括：

将所述探针框架锁定在所述测试腔内的支撑框架上；

将所述探针框架与信号线相连接。

14.根据权利要求12所述的工作方法，其特征在于，在将探针框架从所述测试腔传送至所述交换腔前，所述工作方法还包括：

将所述探针框架与信号线断开连接；

解除所述探针框架与所述测试腔内的支撑框架的锁定。