[发明专利]阀门、操作阀门的方法、以及真空处理设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种阀门(valve)，更具体而言，涉及一种闸阀(gate valve)，所述闸阀在用于处理基板的真空处理设备中开启及闭合用于传送基板的传送通道(passage)。

背景技术

一般而言，在用于处理基板的真空处理设备中，通过连接至真空腔室的外壁的基板传送通道将基板载入及载出处理腔室。基板传送通道设置有用于开启及闭合基板传送通道的闸阀。

阀箱(valve case)可设置于基板传送通道中，并在其正面及背面上包括开口部。基板即穿过所述开口部。在这种情况下，闸阀安装于阀箱中，并通过操作闸阀的封盖部来开启及闭合所述开口部。

使用包括气缸(cylinder)及凸轮轴(camshaft)的装置来操作闸阀的封盖部。气缸垂直地移动所述封盖部，凸轮轴则水平地移动所述封盖部，从而将封盖部移动至开口部。由于此种闸阀具有复杂的结构，因而其安装及操作颇为困难。阀箱的正面开口部与背面开口部仅其中的一个有封盖。在这种情况下，当腔室的内部压力发生变化或腔室受到来自外部的损坏时，封盖部便可能会与开口部间隔开而释放掉腔室中的真空。

闸阀包括气压缸(pneumatic cylinder)，以用于操作用来封盖所述开口部的封盖部。当提供有多个用于操作所述封盖部的气缸时，设置于各气缸中的活塞的速度可能会有所不同。在这种情况下，封盖部可能不能可靠地且稳定地封盖所述开口部，且构成闸阀的部件可能会变形。

发明内容

本发明提供一种闸阀，所述闸阀包括用于水平及垂直地操作封盖部的单个操作部。

本发明还提供一种闸阀，所述闸阀安装于在其正面及背面中具有开口部的阀箱上，以开启及关闭这两个开口部。

本发明还提供一种闸阀，所述闸阀可使多个气缸中的多个活塞的运动同步，以向上推动封盖部。

根据本发明的实例性实施例，一种用于开启及闭合开口部的真空形成阀门包括：封盖部，相对于所述开口部在前后方向上移动，以紧密地接触所述开口部或与所述开口部间隔开；轴单元，用于在上下方向上移动所述封盖部；以及连杆(link)单元，耦合至所述封盖部以及所述轴单元，以将所述轴单元的垂直运动变成水平运动并在所述前后方向上移动所述封盖部。

所述阀门还可包括操作部，所述操作部耦合至所述轴单元的一端，以垂直地移动所述轴单元。

根据本发明的另一实例性实施例，一种用于开启及闭合开口部的真空形成阀门包括：封盖部，相对于所述开口部在前后方向上移动，以紧密地接触所述开口部或与所述开口部间隔开；多个移动构件，连接至所述封盖部，用于在上下方向上以及在所述前后方向上移动所述封盖部；以及接头单元，用于使所述移动构件相互耦合。

根据本发明的另一实例性实施例，提供一种用于操作阀门的方法，所述阀门用于封盖开口部以形成真空，所述方法包括：在上下方向上将封盖部及轴单元初始地移动至所述开口部，以将所述封盖部设置于所述开口部前面的待用(stand-by)位置，其中所述封盖部用以紧密地接触所述开口部或与所述开口部间隔开，且所述轴单元连接至所述封盖部；以及在所述封盖部设置于所述待用位置时，在所述上下方向上二次(secondary)移动所述轴单元，并将所述二次移动变成水平运动；以及以所述水平运动形式水平地移动所述封盖部，以使所述封盖部紧密地接触所述开口部。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

结合附图阅读下文说明，可更详尽地理解本发明的实例性实施例，附图中：

图1是根据实例性实施例的阀门的横剖视图。

图2是根据实例性实施例的阀门的分解透视图。

图3是根据实例性实施例的气缸的横剖视图。

图4A、图4B及图4C是根据实例性实施例的阀门的操作的横剖视图。

图5A及图5B是根据实例性实施例的阀门的主要部分的操作的横剖视图。

图6是根据实例性实施例的阀门的横剖视图。

图7A及图7B是根据实例性实施例的阀门的操作的横剖视图。

图8是根据实例性实施例的包括阀门的真空处理设备的示意图。

图9是沿图8中的线A-A’截取的横剖视图。

图10是根据实例性实施例的一种操作阀门的方法的流程图。

符号的说明：

1：阀门

10：阀箱

11：开口部

12：开口部