[发明专利]阀门、操作阀门的方法、以及真空处理设备

权利要求书

1.一种用于开启及闭合开口部的真空形成阀门，所述阀门包括：

封盖部，相对于所述开口部在前后方向上移动，以紧密地接触所述开口部或与所述开口部间隔开；

轴单元，用于在上下方向上移动所述封盖部；以及

连杆单元，耦合至所述封盖部以及所述轴单元，以将所述轴单元的垂直运动变成水平运动并在所述前后方向上移动所述封盖部。

2.根据权利要求1所述的阀门，还包括操作部，所述操作部耦合至所述轴单元的一端，以垂直地移动所述轴单元。

3.根据权利要求2所述的阀门，其中所述操作部包括：

气缸，设置于所述轴单元之下并具有开放的上部；以及

活塞，在所述气缸内垂直地往复运动，

其中

所述轴单元耦合至所述活塞的上部。

4.根据权利要求3所述的阀门，其中所述轴单元包括：

第一轴，耦合至所述活塞的所述上部，以与所述活塞一同移动；以及

第二轴，通过可压缩的弹性构件而连接至所述活塞的所述上部，以与所述第一轴一起移动。

5.根据权利要求4所述的阀门，其中所述第二轴具有内部空间，以使所述第一轴在所述第二轴的纵向方向上穿过所述第二轴。

6.根据权利要求5所述的阀门，其中所述连杆单元包括：

一对第一连杆，分别将各自的一端铰接至所述第一轴的上端的侧部并将另一端铰接至所述封盖部的侧部，以垂直地旋转，所述第一连杆排列于所述前后方向上；以及

一对第二连杆，分别将各自的一端铰接至所述第二轴的上端的侧部并将另一端铰接至所述封盖部的侧部，以垂直地旋转，所述第二连杆排列于所述前后方向上。

7.根据权利要求6所述的阀门，其中所述封盖部包括：

前封盖部，铰接至设置于正面的所述第一连杆以及设置于所述正面的所述第二连杆，以垂直地旋转；以及

后封盖部，铰接至设置于背面的所述第一连杆以及设置于所述背面的所述第二连杆，以垂直地旋转。

8.根据权利要求5所述的阀门，其中在所述第二轴的下端的外圆周表面上设置凸缘；以及

在所述气缸的上端内部设置咬合凸缘，且

当所述活塞向上移动时，所述凸缘接触所述咬合凸缘。

9.一种用于开启及闭合开口部的真空形成阀门，所述阀门包括：

封盖部，相对于所述开口部在前后方向上移动，以紧密地接触所述开口部或与所述开口部间隔开；

多个移动构件，连接至所述封盖部，用于在上下方向上以及在所述前后方向上移动所述封盖部；以及

接头单元，用于使所述移动构件相互耦合。

10.根据权利要求9所述的阀门，其中所述移动构件中的每一者均包括：

轴单元，用于垂直地移动所述封盖部；以及

连杆单元，耦合至所述封盖部及所述轴单元，以将所述轴单元的垂直运动变成水平运动并在所述前后方向上移动所述封盖部。

11.根据权利要求10所述的阀门，其中所述移动构件中的每一者均包括气缸及活塞，所述气缸具有开放的上部，所述活塞在所述气缸内往复运动，以及

所述轴单元分别耦合至所述活塞的上部，以及

所述接头单元包括多个接合轴，多个所述接合轴分别耦合至所述活塞。

12.根据权利要求11所述的阀门，其中所述接头单元包括齿条及小齿轮，所述齿条耦合至所述活塞的下部，所述小齿轮则啮合所述齿条，以及

所述接合轴耦合至所述小齿轮的旋转轴。

13.根据权利要求12所述的阀门，还包括旋转装置，所述旋转装置连接至所述接合轴，以使所述接合轴旋转。

14.一种用于操作阀门的方法，所述阀门用于封盖开口部以形成真空，所述方法包括：

在上下方向上将封盖部及轴单元初始地移动至所述开口部，以将所述封盖部设置于所述开口部前面的待用位置，其中所述封盖部用以紧密地接触所述开口部或与所述开口部间隔开，且所述轴单元连接至所述封盖部；以及

在所述封盖部设置于所述待用位置时，在所述上下方向上二次移动所述轴单元，并将所述二次移动变成水平运动；以及

以所述水平运动形式水平地移动所述封盖部，以使所述封盖部紧密地接触所述开口部。