[发明专利]一种功率器件背面热退火时对正面金属图形的保护方法

权利要求书

1.一种功率器件背面热退火时对正面金属图形的保护方法，在完成功率器件正面制作工艺之后，先在功率器件正面金属图形表面涂覆一层有机硅树脂，有机硅树脂经预热固化之后，再进行功率器件背面制作工艺，待背面工艺完成之后将功率器件置于能够溶解有机硅树脂的有机溶剂中去除有机硅树脂。

2.根据权利要求1所述的功率器件背面热退火时对正面金属图形的保护方法，其特征是，所述功率器件背面制作工艺包括背面减薄、背面杂质离子注入、背面杂质离子高温热退火和淀积背面金属步骤。

3.根据权利要求2所述的功率器件背面热退火时对正面金属图形的保护方法，其特征是，所述背面杂质离子高温热退火为高温快速热退火或者高温炉退火。

4.根据权利要求3所述的功率器件背面热退火时对正面金属图形的保护方法，其特征是，所述高温快速热退火的退火温度为900～1100℃、退火时间为5～60秒。

5.根据权利要求3所述的功率器件背面热退火时对正面金属图形的保护方法，其特征是，所述高温炉退火的退火温度为800～1000℃、退火时间为20～40分钟。

6.根据权利要求1所述的功率器件背面热退火时对正面金属图形的保护方法，其特征是，所述有机硅树脂为美国Tempil公司生产的Pyromark2500，所述能够溶解有机硅树脂的有机溶剂为甲苯。