[发明专利]蓝光光盘用母盘及其制造方法在审
| 申请号： | 201110084346.0 | 申请日： | 2011-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN102270472A | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 叶健;刘彤;杨明生 | 申请（专利权）人： | 东莞宏威数码机械有限公司 |
| 主分类号： | G11B7/24 | 分类号： | G11B7/24;G11B7/26 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 张艳美;郝传鑫 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市南城*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光盘 母盘 及其 制造 方法 | ||
1.一种蓝光光盘用母盘的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)在洁净基片的一侧面上旋涂形成一吸光层；
(2)将旋涂有吸光层的基片送入烘炉，对所述吸光层进行烘烤使其在高温加热中碳化，形成碳化吸光层；
(3)将形成有碳化吸光层的基片输出并自然冷却至室温；
(4)在所述碳化吸光层上旋涂一层光刻胶，形成光刻胶层；
(5)将旋涂有光刻胶层的基片送入烘炉，对所述光刻胶层进行烘烤；
(6)将烘烤后的基片进行曝光处理，曝光所述光刻胶层；
(7)将经曝光处理后的基片进行显影处理，使光刻胶层形成凹凸形结构；
(8)在形成凹凸形结构的光刻胶层上电镀形成一金属膜层。
2.如权利要求1所述的蓝光光盘用母盘的制造方法，其特征在于，所述步骤(1)之前还包括对所述基片进行表面清洗的步骤。
3.如权利要求1所述的蓝光光盘用母盘的制造方法，其特征在于，所述步骤(2)之前还包括将烘炉内的热板加热至250℃的步骤。
4.如权利要求3所述的蓝光光盘用母盘的制造方法，其特征在于，所述步骤(2)还包括如下步骤：
(21)将旋涂有吸光层的基片送入烘炉内，并置于热板上方10毫米处，对所述吸光层烘烤30分钟，完成第一次烘烤；
(22)将经第一次烘烤的基片移至热板上方2毫米处，对所述吸光层烘烤120秒，完成第二次烘烤；
(23)将经第二次烘烤的基片移至接触热板，对所述吸光层烘烤900秒，完成第三次烘烤，使吸光层完全碳化形成碳化吸光层。
5.如权利要求1所述的蓝光光盘用母盘的制造方法，其特征在于，所述步骤(5)之前还包括将烘炉内的热板加热至110℃的步骤。
6.如权利要求5所述的蓝光光盘用母盘的制造方法，其特征在于，所述步骤(5)还包括如下步骤：
(51)将旋涂有光刻胶层的基片送入烘炉内，并置于热板上方2毫米处，对所述光刻胶层烘烤120秒，完成首次烘烤；
(52)将经首次烘烤后的基片移至接触热板，对所述光刻胶层再次烘烤900秒，完成对所述光刻胶层的烘烤。
7.如权利要求1所述的蓝光光盘用母盘的制造方法，其特征在于，所述碳化吸光层的厚度为100纳米。
8.一种蓝光光盘用母盘，其特征在于，包括基片、碳化吸光层及光刻胶层，所述碳化吸光层形成于所述基片的一侧面上，所述光刻胶层形成于所述碳化吸光层上，且所述光刻胶层形成凹凸形结构。
9.如权利要求8所述的蓝光光盘用母盘，其特征在于，所述碳化吸光层的厚度为100纳米。
10.如权利要求8所述的蓝光光盘用母盘，其特征在于，所述基片为玻璃基片或硅基片。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞宏威数码机械有限公司，未经东莞宏威数码机械有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110084346.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
