[发明专利]一种监控离子注入机异常的方法和装置

权利要求书

1.一种监控离子注入机异常的装置，其特征在于，包括：

输入隔离单元，与离子注入机的剂量控制器和传片控制器相连接，用于接收所述剂量控制器发送的异常报警信号和所述传片控制器发送的注入运行信号，并输出所述异常报警信号和所述注入运行信号；

中央处理单元，与所述输入隔离单元相连接，用于在接收到所述输入隔离单元输出的注入运行信号之后，当接收到所述输入隔离单元输出的异常报警信号时，输出语音报警通知消息；

语音报警单元，与所述中央处理单元相连接，用于根据所述中央处理单元输出的所述语音报警通知消息，进行语音报警。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述中央处理单元进一步用于，在输出所述语音报警通知消息之前根据存储的异常报警信号与语音类型的对应关系，确定出与接收到的异常报警信号对应的语音类型，并在所述语音报警通知消息中添加确定出的语音类型的标识信息；所述语音报警单元，具体用于：采用与所述语音报警通知消息中的标识信息对应的语音进行语音报警；

或者，所述中央处理单元进一步用于，在输出所述语音报警通知消息之前，在所述语音报警通知消息中添加异常报警信号信息；所述语音报警单元，具体用于：根据存储的异常报警信号与语音类型的对应关系，确定出与所述语音报警通知消息中的异常报警信号对应的语音类型，并采用该语音类型对应的语音进行语音报警。

3.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于，还包括输出隔离单元；

所述中央处理单元进一步用于，在所述语音报警单元进行语音报警的时长到达预设的第一时长阈值时，启动输出隔离单元；

输出隔离单元，与所述中央处理单元相连接，用于向所述离子注入机的传片控制器发送禁止注入信号，以控制所述传片控制器停止注入。

4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，还包括：

计时单元，与所述中央处理单元相连接，用于在所述语音报警单元进行语音报警时开始计时，并在计时时长到达所述第一时长阈值时，通知所述中央处理单元已到达第一时长阈值。

5.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述中央处理单元进一步用于，在接收到所述输入隔离单元输出的注入运行信号之后的第二时长阈值内确定所述离子注入机未启动注入流程时，启动所述输出隔离单元。

6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，还包括：

时间显示单元，与所述中央处理单元相连接，用于在所述中央处理单元接收到所述注入运行信号时开始计时并显示，并在计时时长到达所述第二时长阈值时，通知所述中央处理单元已到达第二时长阈值。

7.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于，还包括：

复位单元，与所述中央处理单元相连接，用于在确定异常消除之后，向所述中央处理单元发送语音报警消除信号，以指示所述中央处理单元控制所述语音警报单元停止报警。

8.一种监控离子注入机异常的方法，其特征在于，包括：

输入隔离单元接收离子注入机的剂量控制器发送的异常报警信号和所述离子注入机的传片控制器发送的注入运行信号，并输出所述异常报警信号和所述注入运行信号；

中央处理单元在接收到所述输入隔离单元输出的注入运行信号之后，当接收到所述输入隔离单元输出的异常报警信号时，输出语音报警通知消息；

语音报警单元根据所述中央处理单元输出的所述语音报警通知消息，进行语音报警。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，还包括：

所述中央处理单元在输出语音报警通知消息之前根据存储的异常报警信号与语音类型的对应关系，确定出与接收到的异常报警信号对应的语音类型，并在所述语音报警通知消息中添加确定出的语音类型的标识信息；所述语音报警单元进行语音报警，具体为：采用与所述语音报警通知消息中的标识信息对应的语音进行语音报警；

或者，所述中央处理单元在输出所述语音报警通知消息之前，在所述语音报警通知消息中添加异常报警信号信息；所述语音报警单元进行语音报警，具体为：根据存储的异常报警信号与语音类型的对应关系，确定出与所述语音报警通知消息中的异常报警信号对应的语音类型，并采用该语音类型对应的语音进行语音报警。