[发明专利]尤其用于为制造多晶硅的反应器供电的供电装置无效

专利信息
申请号: 201110044001.2 申请日: 2011-02-23
公开(公告)号: CN102195490A 公开(公告)日: 2011-09-21
发明(设计)人: P·瓦尔梅尔;W·保罗 申请(专利权)人: 安奕极电源系统有限责任公司
主分类号: H02M5/00 分类号: H02M5/00;C01B33/021
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 赵科
地址: 荷兰兹*** 国省代码: 荷兰;NL
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摘要:
搜索关键词: 尤其 用于 制造 多晶 反应器 供电 装置
【说明书】:

技术领域

本发明涉及一种供电装置,尤其用于为用于按照西门子方法制造多晶硅的反应器中的硅细棒供电的供电装置,

-具有连接到三相供电网的输入端,

-具有三组输出端,用于对能连接到输出端的负载、尤其是硅细棒供电,

-具有三组调节装置,用于调节输出端上的电压,以及

-具有三组转换装置,用于在这些输出端组中一个组的输出端进行并联连接和串联连接之间进行转换,

其中每组调节装置至少在供电装置的一种状态下经由一组转换装置与一组输出端连接。

背景技术

这种供电装置的一个输出端是一对用于连接一个或多个串联连接的负载的电气接头。如果一个负载连接到该输出端,则在供电装置的至少一种状态下电流可以从一个接头经由负载流动到另一接头。但是供电装置也可以有这样的状态,即在该状态中没有电流从这些接头之一流到另一接头。一个输出端的一个接头可以同时是另一输出端的一个接头。

如果多个输出端在供电装置的一种状态下并联连接,则意味着:这些输出端在供电装置的这个状态下在该供电装置内连接到同一电流源。如果负载连接到并联连接的输出端,则这些负载也是并联连接的。

相反,如果多个输出端在供电装置的一种状态下串联连接,则在该状态下在所有串联连接的输出端上产生电压降。如果负载连接到串联连接的输出端,则电流从串联电路的第一输出端的第一接头通过负载流动到串联电路的最后一个输出端的第二接头。在串联连接的接头中的其余接头上没有电流流动。

欧洲专利申请EP 1947545A2在图2中公开了一种用于对用于按照西门子方法制造多晶硅的反应器中的硅细棒供电的供电装置。硅细棒被组合成棒对,并且形成连接到供电装置的负载。

供电装置具有三组输出端,其中这三组的输出端可以并联或串联连接。如果一组输出端中的输出端串联连接,则连接到这一组中输出端的棒对同样串联连接。相反,如果输出端并联连接,则棒对也并联连接。除了这三组输出端之外,供电装置还具有另一输出端。利用根据欧洲专利申请EP 1947545A2附图2的供电装置总共可以为18个棒对供应电能。

棒对在反应器中被设置为三个同心环,其中在内环中设置三个棒对,在中环中设置六个棒对,在外环中设置九个棒对。经由三相供电装置的三个输入端中每一个输入端总共为六个棒对供应电能,这通过以下方式被转换,即内环的三个棒对与外环的三个棒对由一相供应电能。这导致了这些棒对连接到的调节装置组的高复杂性。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供开头所述类型的一种简单的供电装置,该供电装置适于为设置在反应器内的两个同心环中的棒对供电。该供电装置尤其还应当适于并设置用于对18个棒对供电。

根据本发明,该技术问题通过以下方式解决,即所有输出端被分组为三组输出端。

利用根据本发明的供电装置可以为反应器中两个同心环内的18个棒对供应电能。进行划分使得第一组输出端被设置用于为内环的棒对供电,而另两组被设置用于为外环的棒对供电。但是对根据本发明的供电装置的使用并不限于这种情形。

根据本发明的供电装置可以被设置为使得每组调节装置在供电装置的至少一种状态下经由正好一组转换装置与正好一组输出端连接。优选地,在该组的输出端并联连接的状态下是这种情形。同样可能的是:每组调节装置经由优选正好一个变压器与一个输入端连接。通过调节装置、转换装置和输出端的组以及变压器的这种明确的对应关系,可以简单地构造一种调节来调节通过输出端传输的功率。

根据本发明的供电装置可以具有输出端组的至少一个第一组输出端,其中三个输出端可以并联或串联地工作。然后在每个输出端上可以连接两个串联连接的负载。于是在每个负载上下降该输出端上的电压的一半。优选地,根据本发明的供电装置正好具有一个第一组输出端。根据本发明还可能的是:所有三组输出端都具有三个可以串联或并联工作的输出端。

此外,根据本发明的供电装置可以具有输出端组的至少一个第二组输出端,其中两个输出端可以并联或串联地工作。然后在每个输出端上可以连接三个负载。于是在第二组的输出端的并联电路中下降该输出端上的电压的三分之一。优选地,根据本发明的供电装置正好具有两个第二组输出端。根据本发明还可能的是:所有三组输出端都具有两个可以串联工作的输出端。

根据本发明的供电装置的调节装置组可以具有输入侧接头。这些输入侧接头可以分别与连接到该组调节装置的变压器的次级侧的一个抽头连接。输入侧的不同电压可以经由抽头施加到调节装置组。

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