[发明专利]尤其用于为制造多晶硅的反应器供电的供电装置

权利要求书

1.一种供电装置，尤其用于对根据西门子方法制造多晶硅的反应器中的硅细棒供电，

-具有输入端(L1，L2，L3)，用于连接到三相供电网，

-具有输出端，这些输出端被分组为三个输出端组(A11至A13，A21至A24，A31至A33)，用于为能连接到所述输出端的负载、尤其是为硅细棒供电，

-具有三个调节装置组(S1，S2，S3)，调节装置用于调节所述输出端上的电压，并且

-具有三个转换装置组(U1，U2，U3)，转换装置用于在所述输出端组(A11至A13，A21至A24，A31至A33)之一的输出端进行并联连接和串联连接之间切换，

-其中每个调节装置组(S1，S2，S3)至少在所述供电装置的一种状态下经由一个转换装置组(U1，U2，U3)与一个输出端组(A11至A13，A21至A24，A31至A33)相连。

2.根据权利要求1所述的供电装置，其特征在于，每个调节装置组(S1，S2，S3)在所述供电装置的一种状态下经由正好一个转换装置组(U1，U2，U3)与正好一个输出端组(A11至A13，A21至A24，A31至A33)连接。

3.根据权利要求1或2所述的供电装置，其特征在于，每个调节装置组(S1，S2，S3)优选经由正好一个变压器(T1，T2，T3)与一个输入端(L1，L2，L3)连接。

4.根据权利要求1至3之一所述的供电装置，其特征在于，所述输出端组(A11至A13，A21至A24，A31至A33)中至少一个第一输出端组(A21至A24)具有能以并联连接或以串联连接工作的三个输出端(A21，A22；A23，A22；A23，A24)。

5.根据权利要求1至4之一所述的供电装置，其特征在于，所述输出端组(A11至A13，A21至A24，A31至A33)中至少一个第二输出端组(A11至A13，A31至A33)具有能以并联连接或以串联连接工作的两个输出端(A12，A11；A12，A13或A32，A31；A32，A33)。

6.根据权利要求3至5之一所述的供电装置，其特征在于，所述调节装置组(S1，S2，S3)以输入侧接头(S101至S104，S201至S204，S301至S304)与连接到所述调节装置组(S1，S2，S3)的变压器(T1，T2，T3)的次级侧的一个抽头(T13至T14，T21至T24，T31至T34)相连。

7.根据权利要求6所述的供电装置，其特征在于，所述调节装置组(S1，S2，S3)具有输出侧第一接头(S105，S205，S305)和输出侧第二接头(S106，S206，S306)，并且每个输出侧接头(S105，S106，S205，S206，S305，S306)经由功率调节器(S11至S17，S21，S27，S31至S37)与至少两个输入侧接头(S101至S104，S201至S204，S301至S304)连接。

8.根据权利要求7所述的供电装置，其特征在于，每个转换装置组(U1，U2，U3)具有输入侧接头(U101，U201，U301)，其中所述输入侧接头(U101，U201，U301)与相应调节装置组(S1，S2，S3)的输出侧第一接头(S105，S205，S305)相连。

9.根据权利要求8所述的供电装置，其特征在于，每个转换装置组(U1，U2，U3)具有与输入侧第一接头或与相应变压器(T1，T2，T3)的回线接头(T17，T27，T37)相连的输出侧接头(U102至U104，U202至U205，U302至U304)。

10.根据权利要求11所述的供电装置，其特征在于，所述调节装置组(S1，S2，S3)的输出侧第二接头(S106，S206，S306)、所述转换装置组(U1，U2，U3)的输出侧接头(U102至U104，U202至U205，U302至U304)以及所述回线接头(T17，T27，T37)与所述输出端组的输出端的接头(A11至A13，A21至A24，A31至A33)相连。

11.一种用于按照西门子方法制造多晶硅的反应器，其特征在于，所述反应器具有根据权利要求1至10之一所述的供电装置以及设置在所述反应器中、连接到所述供电装置的输出端的硅细棒(H11至H16，H21至H26，H31至H36)。