[发明专利]具有固定结构的极紫外光光罩储存传送盒

权利要求书

1.一种光罩盒，是将一光罩固定于一内盒中且该内盒容置于一外盒中，该外盒包括：

一外盒下盖，具有一第一内表面，且该第一内表面上形成有复数个第一支撑件；

一外盒上盖，具有一第二内表面，且该第二内表面上形成有复数个第二支撑件，且于该外盒下盖与该外盒上盖盖合时，该第一内表面与该第二内表面形成一第一容置空间以容置该内盒；及

该内盒包括：

一内盒下盖，配置于该第一容置空间内并与该复数个第一支撑件接触，且该内盒下盖具有一内盒第一内表面；及

一内盒上盖，位于该第一容置空间内，其具有一内盒第二内表面及相对于该第二内表面另一侧的一内盒上盖外表面，且于该内盒下盖与该内盒上盖盖合时，该内盒第一内表面与该内盒第二内表面形成一第二容置空间以容置该光罩，其中，该内盒上盖的特征在于：

复数个贯穿孔形成在该内盒上盖的该第二内表面及该外表面之间，且于每一该贯穿孔周围形成一O型凹槽以围绕该贯穿孔，并于该O型凹槽中配置一弹性组件；

复数个固持件，配置于每一该贯穿孔中，其位置是与该外盒上盖的每一该第二支撑件相对应，该固持件由一支撑凸柱与一个相应配置于该O型凹槽中的O型凸部所形成，而该支撑凸柱的长度是大于该O型凸部且该支撑凸柱与该O型凸部为一体成型的结构，其中，该O型凸部位于该O型凹槽中且该O型凸部与该弹性组件接触。

2.根据权利要求1所述的光罩盒，其中，于每一该固持件位于该内盒上盖的该内盒上盖外表面的一侧上，各配置一第一固定件，用以固定该固持件。

3.根据权利要求1所述的光罩盒，其中，该固持件其材质为一耐磨的高分子材料。

4.根据权利要求1所述的光罩盒，其中，该内盒上盖上方配置复数个过滤装置，其中每一该过滤装置包括：

一复数个过滤孔，形成于该内盒上盖上；

一过滤材质，置于该复数个过滤孔上；及

一第二固定件，配置于该复数个过滤孔与该过滤材质之上，用以固定该过滤装置；该过滤材质为一多孔性过滤膜。

5.根据权利要求1所述的光罩盒，其中，该内盒上盖周边所形成的在四角落上形成一体成型的防呆结构结构，其特征在于：

该防呆结构的部分结构会凸出于该内盒上盖周边，当该内盒上盖与该内盒下盖盖合时，该防呆结构凸出的部分结构会卡固于该内盒下盖周边上。

6.根据权利要求1所述的光罩盒，其中，该内盒下盖配置复数个窗孔，其中每一该窗孔中包括：

一透明基板，由相对于该内盒第一内表面另一侧的一内盒下盖外表面安装于该窗孔上；

一第三固定件，由该内盒下盖外表面配置于该窗孔与该透明基板上，用以固定该透明基板；及

一环状垫片，配置于该透明基板与该第三固定件之间。

7.根据权利要求1、2或4所述的光罩盒，其中，该第一固定件、该第二固定件及该第三固定件，是以螺丝锁固于光罩盒上。

8.一种光罩盒，是将一光罩固定于一内盒中且该内盒容置于一外盒中，该外盒包括：

一外盒下盖，具有一第一内表面，且该第一内表面上形成有复数个第一支撑件；

一外盒上盖，具有一第二内表面，且该第二内表面上形成有复数个第二支撑件，且于该外盒下盖与该外盒上盖盖合时，该第一内表面与该第二内表面形成一第一容置空间以容置该内盒；及

该内盒包括：

一内盒下盖，配置于该第一容置空间内并与该复数个第一支撑件接触，且该内盒下盖具有一内盒第一内表面；及

一内盒上盖，位于该第一容置空间内，其具有一内盒第二内表面及相对于该第二内表面另一侧的一内盒上盖外表面，且于该内盒下盖与该内盒上盖盖合时，该内盒第一内表面与该内盒第二内表面形成一第二容置空间以容置该光罩；

复数个限制件，配置于该内盒第一内表面的四角落上，其中，该内盒下盖的特征在于：

复数个贯穿孔形成在该内盒上盖的该第二内表面及该外表面之间，且于每一该贯穿孔周围形成一O型凹槽以围绕该贯穿孔，并于该O型凹槽中配置一弹性组件；

复数个固持件，配置于每一该贯穿孔中，其位置是与该外盒上盖的每一该第二支撑件相对应，该固持件是由一支撑凸柱与一个相应配置于该O型凹槽中的O型凸部所形成，而该支撑凸柱的长度是大于该O型凸部且该支撑凸柱与该O型凸部为一体成型的结构，其中，该O型凸部位于该O型凹槽中且该O型凸部与该弹性组件接触。