[发明专利]体声波共振组件与体声波滤波器及其方法

权利要求书

1.一种体声波共振组件，其特征在于，包括：

一基底；

两电极，堆栈于所述基底上；以及

至少一压电层，设置于所述两电极之间；

其中所述两电极与所述压电层在一垂直投影方向上至少部分重叠，且所述两电极之一具有多个开口。

2.如权利要求1所述的体声波共振组件，其特征在于，所述两电极之一为格状电极。

3.一种制造体声波共振组件的方法，其特征在于，包括：

提供一基底；

在所述基底上形成一第一电极；

在所述第一电极上形成至少一压电层；

在所述压电层上形成一第二电极；以及

在所述第一电极与所述第二电极之一上形成多个开口。

4.如权利要求3所述的制造体声波共振组件的方法，其特征在于，还包括：改变所述开口的数目，以决定所述体声波共振组件的共振频率。

5.如权利要求3所述的制造体声波共振组件的方法，其特征在于，还包括：改变所述开口的面积，以决定所述体声波共振组件的共振频率。

6.如权利要求3所述的制造体声波共振组件的方法，其特征在于，所述开口为格状。

7.一种体声波滤波器，其特征在于，包括：

一基底；

多个体声波共振组件，以多层堆栈的型态设置于所述基底上，且所述体声波共振组件利用耦合方式传递信号；以及

一输入端及一输出端，分别与不同的体声波共振组件电连接，且所述输入端与所述输出端分别位于不同层。

8.如权利要求7所述的体声波滤波器，其特征在于，所述体声波共振组件各包括两电极，以及设置于所述两电极之间的至少一压电层。

9.如权利要求8所述的体声波滤波器，其特征在于，还包括至少一中介层，设置于不同层的体声波共振组件之间以及最下层的体声波共振组件与所述基底之间。

10.如权利要求9所述的体声波滤波器，其特征在于，所述中介层包括一压电层或一介电层。

11.如权利要求9所述的体声波滤波器，其特征在于，所述中介层为一复合中介层，所述复合中介层包括多层堆栈的材料层，且所述材料层具有不同的阻抗。

12.如权利要求11所述的体声波滤波器，其特征在于，所述复合中介层还包括一空腔，位于所述材料层之间。

13.如权利要求7所述的体声波滤波器，其特征在于，部分所述体声波共振组件的压电层相互连接，以形成至少一完整压电层。

14.一种制造体声波滤波器的方法，其特征在于，包括：

提供一基底；

在所述基底上形成多个体声波共振组件，其中所述体声波共振组件以多层堆栈方式设置于所述基底上，且所述体声波共振组件以耦合方式传递信号；以及

形成一输入端及一输出端，其中所述输入端与所述输出端分别与不同的体声波共振组件电连接，且所述输入端与所述输出端分别位于不同层。

15.一种体声波滤波器，其特征在于，包括：

一基底；以及

多个体声波共振组件，堆栈于所述基底上，且所述体声波共振组件以耦合方式传递信号，其中所述体声波共振组件各包括两电极，以及设置于所述两电极之间的至少一压电层，且部分所述体声波共振组件的压电层相互连接，以形成至少一完整压电层。

16.如权利要求15所述的体声波滤波器，其特征在于，还包括一输入端以及一输出端，其中所述输入端与所述输出端分别与不同的体声波共振组件电连接，且所述输入端与所述输出端分别位于不同层。

17.如权利要求15所述的体声波滤波器，其特征在于，还包括至少一中介层，设置于堆栈的所述体声波共振组件之间。

18.如权利要求17所述的体声波滤波器，其特征在于，所述中介层包括一压电层或一介电层。