[发明专利]微机电系统元件及用于其中的防止变形结构及其制作方法

权利要求书

1.一种微机电系统元件，设置于一基板上，其特征在于，包含：

一动件；以及

一防止变形结构，其具有：

附着于该基板的一固定栓；

多个金属层，其包含一最上层金属层；以及

连接该多个金属层的多个金属栓；

其中，该最上层金属层由俯视图视之，与该动件具有一部分重叠，且由剖面图视之，该最上层金属层的底表面高于该动件顶表面一限制高度。

2.如权利要求1所述的微机电系统元件，其中，该防止变形结构由俯视图视之位于该微机电系统元件整体结构的内部。

3.如权利要求1所述的微机电系统元件，其中，该微机电系统元件包含至少一弹簧；一与弹簧连接的质量块；以及与质量块连接的至少一感测电极区；其中该动件包括该弹簧、该质量块、与该感测电极区之一或任两者以上。

4.如权利要求3所述的微机电系统元件，其中，该感测电极区包含以下之一或两者：同平面感测电极区与出平面感测电极区。

5.如权利要求1所述的微机电系统元件，其中，该最上层金属层与该动件的重叠部分，宽度至少等于1微米。

6.一种用于微机电系统元件中的防止变形结构，设置于一基板上，其特征在于，该微机电系统元件包含一动件，该防止变形结构包含：

附着于该基板的一固定栓；

多个金属层，其包含一最上层金属层；以及

连接该多个金属层的多个金属栓，

其中，该最上层金属层由俯视图视之，与该动件具有一部分重叠，且由剖面图视之，该最上层金属层的底表面高于该动件顶表面一限制高度。

7.如权利要求6所述的防止变形结构，其中，该最上层金属层与该多个金属栓中最上层金属栓，从剖视图视之，呈为L字形或T字形。

8.如权利要求6所述的防止变形结构，其中，由俯视图视之，该防止变形结构位于该微机电系统元件的内部。

9.一种微机电系统元件的制作方法，其特征在于，包含：

提供一基板；

形成附着于该基板的一固定栓；

形成多个金属层与连接该多个金属层的多个金属栓，并定义该多个金属层与该多个金属栓的图案，以区分出一动件与一固定结构；以及

在该固定结构上形成金属栓与最上层金属层，并使该最上层金属层由俯视图视之，与该动件具有一部分重叠，且由剖面图视之，该最上层金属层的底表面高于该动件顶表面一限制高度。

10.如权利要求9所述的微机电系统元件的制作方法，其中，该固定结构位于微机电系统元件整体结构的内部。

11.如权利要求9所述的微机电系统元件的制作方法，其中还包含：

形成牺牲层围绕该多个金属层与该多个金属栓、以及在该固定结构上的金属栓与最上层金属层；以及

蚀刻去除该牺牲层。