[发明专利]一种纤维表面氮化硼涂层的制备方法有效
申请号: | 201110007983.8 | 申请日: | 2011-01-14 |
公开(公告)号: | CN102167612A | 公开(公告)日: | 2011-08-31 |
发明(设计)人: | 李俊生;李斌;张长瑞;王思青;刘荣军;曹峰 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
主分类号: | C04B35/84 | 分类号: | C04B35/84;C04B35/80 |
代理公司: | 长沙星耀专利事务所 43205 | 代理人: | 宁星耀 |
地址: | 410073 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 纤维 表面 氮化 涂层 制备 方法 | ||
1. 一种纤维表面氮化硼涂层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)将纤维编织体置于有机溶剂丙酮中超声清洗,去除表面尘埃等污染物,干燥后放入沉积炉膛内;(2)对沉积炉膛抽真空,充入氮气,反复进行三次,置换沉积炉膛内的空气;(3)对沉积炉膛抽真空至0.01~1 Pa,升温至500~1800 ℃;(4)待温度稳定后,导入载气和稀释气,载气流量10~1000 ml/min,稀释气流量0~1000 ml/min,将系统压强维持在200Pa~30 kPa;载气通过鼓泡的方式将硼吖嗪带入沉积炉炉膛内,硼吖嗪在沉积炉膛内分解出的氮化硼逐步沉积于纤维表面,形成氮化硼涂层,沉积1.5~3.0小时;(5)沉积结束之后,停止导入载气及稀释气,关闭加热系统,随炉冷却至室温,即得沉积于纤维表面的氮化硼涂层。
2.如权利要求1所述纤维表面氮化硼涂层的制备方法,其特征在于,步骤(3),对沉积炉膛抽真空至0.1~0.5 Pa,升温至800~1200℃。
3.如权利要求1或2所述纤维表面氮化硼涂层的制备方法,其特征在于,步骤(4),所述载气流量为100~500 ml/min,系统压强维持在800~12000Pa。
4.如权利要求1或2所述纤维表面氮化硼涂层的制备方法,其特征在于,步骤(4),所述沉积时间为2小时。
5.如权利要求3所述纤维表面氮化硼涂层的制备方法,其特征在于,步骤(4),所述沉积时间为2小时。
6.如权利要求1或2所述纤维表面氮化硼涂层的制备方法,其特征在于,步骤(4),所述载气为氮气,所述稀释气体也为氮气。
7.如权利要求3所述纤维表面氮化硼涂层的制备方法,其特征在于,步骤(4),所述载气为氮气,所述稀释气体也为氮气。
8.如权利要求4所述纤维表面氮化硼涂层的制备方法,其特征在于,步骤(4),所述载气为氮气,所述稀释气体也为氮气。
9.如权利要求1或2所述纤维表面氮化硼涂层的制备方法,其特征在于,步骤(4),所述载气为氢气、氩气或它们的混合气体,所述稀释气体也为氢气、氩气或其混合气体。
10.如权利要求1或2所述纤维表面氮化硼涂层的制备方法,其特征在于,所述纤维编织体为玻璃纤维编织体、石英纤维编织体、碳纤维编织体或碳化硅纤维编织体。
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