[发明专利]喷墨涂敷装置以及方法

说明书

技术领域

本发明涉及在针对平滑部件的通过喷墨方式涂敷液状材料的涂敷中，通过对由摄像单元得到的数据实施图像处理而计算出应涂敷的槽状的现状位置，并在接下来的涂敷时计算出与基准位置的偏移量而对涂敷头的位置进行校正移动，从而高精度地涂敷喷墨的装置以及方法。

背景技术

喷墨方式是指，从利用了气泡或者压电元件的喷墨头高精度地吐出少量的液滴。通过该液滴的高精度的吐出，对作为对象的部件进行涂敷的装置是喷墨涂敷装置。作为能够实现高精细的涂敷的装置近年来得到关注，不限于向纸的印刷，在所有的产业领域中都在探索其应用的可能性，且有的已经实现了实用化。

以往，提出了如下技术：为了消除由头的射出状态的差异所引起的影响，对基板进行图案涂敷，用照相机来测量该涂敷点的位置偏移而计算出移动量，使头在XYθ方向上移动，从而进行校正以更接近目标位置，由此，能够减轻每个涂敷点的位置偏差，制造出均匀且没有斑点的高质量的面板(例如，参照专利文献1)。

【专利文献1】日本特开2009-95690号公报

发明内容

在喷墨涂敷中，作为决定涂敷位置的精度的要素，大致分为两个。第一点是依赖于从喷墨涂敷头的喷嘴孔射出液滴的射出方向的每个涂敷点的位置偏差。第7点是喷墨涂敷头的喷嘴孔以何种程度吻合于应涂敷的对象物的涂敷位置。

在专利文献1记载的技术中，虽然可以解决第1点，但对于第2点，根据作为对象的部件的种类有时无法充分地解决。

以下，作为涂敷对象的部件是柔性的层叠膜，并在其膜表面预先形成有成为长长的槽状的图案(以下，将该槽状图案称为划线)。所述划线通过激光等而形成，但由于是柔性的材料，所以产生激光的照射位置误差。

另外，还有在定位到要涂敷的部位之后，用照相机摄像以一定间隔设置的定位用的标记而进行识别，来测量作为涂敷对象的部件的定位状态的手法。但是，由于在涂敷工序之前的工序中进行膜的加热、冷却，所以在层叠膜中产生膨胀、收缩，产生定位用的标记的位置偏移，产生喷墨方式的涂敷头的喷嘴孔的位置从应涂敷的目标位置偏移的问题。

本发明的目的在于消除所述问题，提供一种喷墨涂敷装置以及方法，对柔性的层叠膜的表面的应涂敷的目标位置进行校正，从喷墨涂敷头的喷嘴孔向正确的位置射出液滴，从而可以提高向膜的涂敷质量。

为了达成所述目的，本发明提供一种喷墨涂敷装置，包括：上游侧的导辊，卷出并搬送辊状的膜；吸附平台，吸附保持所卷出的膜；涂敷头，在吸附平台所吸附保持的膜上涂敷液状的涂敷材料；以及下游侧的导辊，搬送涂敷了涂敷材料的膜并辊状地卷取，其特征在于，与涂敷头邻接地设置摄像照相机，使涂敷头和摄像照相机的设置位置成为一体而形成涂敷头组件部，涂敷头组件在该吸附平台的上方，通过能三维地移动的XYZ轴方向驱动单元而移动，在通过涂敷头进行的涂敷动作中，通过摄像照相机对接下来要涂敷的位置预先进行摄像，通过图像处理单元对由摄像照相机进行摄像而得到的摄像结果进行处理，从而校正与最初设定的涂敷位置的偏移量，使涂敷头移动到接下来要涂敷的位置。

另外，涂敷头组件部为多个组，XYZ轴方向驱动单元使成为膜的宽度方向的Y轴方向共通化而使所有涂敷头组件部动作，对于成为膜的长度方向的X轴方向和成为高度方向的Z轴方向，能针对每个涂敷头组件部个别地移动。

进而，在所述膜的涂敷位置设置有定位用标记，在吸附保持了所卷出的膜的状态下，通过摄像照相机对定位用标记进行摄像，将膜的吸附保持的位置偏移量也一起进行校正，使涂敷头移动到接下来要涂敷的位置。

另外，通过摄像照相机预先进行摄像的涂敷位置的形状是线状的槽形状剖面。

根据本发明，对膜表面的应涂敷的目标位置直接进行测量并校正，并从喷墨涂敷头的喷嘴孔向正确的位置射出液滴，从而膜的涂敷质量提高。

附图说明

图1是示出本发明的喷墨涂敷装置以及方法的第1实施方式中的概略结构的立体图。

图2是从上方观察的图1所示的涂敷头的设置状况的图。

图3是放大示出图1中的膜的图。

图4是图1所示的第1实施方式中的涂敷位置校正的控制部的框图。

图5是示出图1所示的涂敷位置校正的一个具体例的流程图。

图6是示出图1所示的第1实施方式中的涂敷位置校正的一个具体例的概略立体图。

图7是示出图1所示的涂敷位置校正中的摄像图像的一个具体例的图。

图8是示出使用了图7所示的用于涂敷位置校正的摄像图像的测量方法的一个具体例的图。