[发明专利]惯性传感器装置的制造方法

说明书

本申请是分案申请，原案申请的申请号为200710140340.4，申请日为2007年8月9日，发明名称为“惯性传感器、惯性传感器装置及其制造方法”。

技术领域

本发明涉及加速度传感器和陀螺传感器等惯性传感器及其制造方法，本发明特别适用于车载用导航装置等。

背景技术

汽车导航装置已广泛普及。在此类汽车导航装置中，在检测汽车等车辆的当前位置时，并用了使用所谓的GPS(Global Positioning System：全球定位系统)来进行测位的方法，以及独立测量车辆的移动方向和移动距离的方法。因此，在汽车导航装置中，安装了检测施加在车辆上的加速度和角速度等的陀螺传感器(角速度传感器)和加速度传感器等惯性传感器，以便独立测量车辆的移动方向和移动距离。

在通过此类惯性传感器检测角速度和加速度等的情况下，需要使检测轴朝向应检测方向，例如，如果是陀螺传感器，则需要将检测轴朝向铅直上方地设置。

但是，近年来，汽车导航装置不断小型化，以往开发了使配置于座位下和行李箱内等中的装置主体(以下称为“导航主体”)设置于位于驾驶席和助手席之间的副仪表板的类型的导航装置。

图15是表示在副仪表板上设置的导航主体的图，(a)是其整体立体图，(b)是表示在导航主体上安装的陀螺传感器的图。

如图15(a)所示，在副仪表板102上设置导航主体100的情况下，基于安装在导航主体100上的显示装置101的视认性和未图示的操作面板的操作性的观点，优选使显示装置101和操作面板的板面朝向驾驶员的视线方向。即，优选使导航主体100从水平方向向斜上方倾斜地设置在副仪表板102内。但是，在使导航主体100向斜上方倾斜地设置在副仪表板102上的情况下，由于如图15(b)所示，在导航主体100内的印刷基板103上安装的陀螺传感器104的检测轴G从本来应朝向的方向即铅直方向V倾斜了导航主体100的安装角度(倾斜角)θ，所以在陀螺传感器104检测到的角速度会产生误差。

在通常的汽车导航装置中，为了修正陀螺传感器104等的由于导航主体100的安装角度而产生的检测误差，通过软件的运算处理来进行检测结果的修正，但这种通过软件进行的修正处理存在极限，现状为例如在导航主体100的倾斜角θ为30°以上时，通过软件的运算处理无法完全修正。

因此，在汽车导航装置中，需要即使在倾斜安装的情况下也能正确地进行检测的惯性传感器，这样的传感器已提出了多种方案。

例如，在专利文献1中，公开了这样的角速度传感器：通过保持部件使传感器内部的角速度检测元件倾斜，从而在不改变传感器的形状和传感器的安装方法的情况下使检测轴倾斜。

此外，在专利文献2中，公开了这样的传感器装置：具备检测元件和固定支撑检测元件的安装部，该检测元件对具有固定的方向性的物理量的有关方向以及大小进行检测，在该传感器装置中，检测元件以向减小方向倾斜预先设定的减小角度的方式固定在安装部上，所述减小方向是使作为成为检测方向和大小的基准的检测轴的方向与在相应检测时实际施加在检测元件上的物理量的方向的差而预测的角度差减小的方向。

另外，在专利文献3中，公开了这样的振子的支撑结构：通过将振子连接在支撑基板上的脚部、以及将该支撑基板和封装用基板连接起来的粘接剂，设定封装内的振子的角度，使振子的检测轴定向为希望的方向。

专利文献1：WO03/100350

专利文献2：日本特开2003-227844号公报

专利文献3：日本特开2005-249428号公报

但是，在上述专利文献1、2所公开的传感器中，由于将作为检测元件的水晶振子直接固定在安装部上，所以安装部成为来自水晶振子的振动泄漏和无用振动模式等的产生原因，因而存在使检测性能恶化的可能。

此外，在上述专利文献1、2所公开的传感器中，由于需要使检测元件本身倾斜安装，所以每个安装角度都需要专用的工具，从而导致制造成本的上升。像这样需要专用工具是因为在专利文献1、2所公开的传感器中，在将检测元件安装到安装部上之后，向检测元件照射激光来进行传感器的调整，所以在改变了检测元件的安装角度的情况下，按照每个安装角度，激光的焦点不同，因而不能使工具通用。

另外，在上述专利文献2中，为了使检测元件倾斜安装，在检测元件其本身上形成狭缝。因此，检测元件的加工成本增高，从这一点考虑也导致了制造成本的上升。

再有，在上述专利文献1、2中，由于在传感器的内部使检测元件倾斜，所以在将传感器安装到安装基板上时，存在不能将检测轴的角度改变成任意角度的问题。