[发明专利]惯性传感器装置的制造方法

权利要求书

1.一种惯性传感器装置的制造方法，所述惯性传感器装置是利用树脂对传感器设备和引线框进行模塑封装而形成的装置，所述传感器设备中封装有对检测轴方向的物理量的大小进行检测的检测元件，所述引线框包括与所述传感器设备电连接的多个引线端子，

所述惯性传感器装置的制造方法的特征在于，

在该惯性传感器装置的制造方法中，使用了上模具和下模具，

所述上模具具有：用于形成型腔的第一凹部；以及用于在所述第一凹部的两侧形成连接通道的第二凹部，

所述下模具具有：用于形成所述型腔的第三凹部；以及用于在所述第三凹部的两侧形成所述连接通道的第四凹部，

所述惯性传感器装置的制造方法包括以下工序：

将所述传感器设备收纳到通过使所述第一凹部与所述第三凹部重合而设置的所述型腔中的工序；

将所述引线框收纳到通过使所述第二凹部和所述第四凹部重合而设置的所述连接通道中的工序；以及

从所述连接通道向所述型腔中填充所述树脂来进行浇铸的工序，

所述上模具的第一凹部以及所述下模具的第三凹部中的至少一方的凹底部分相对于与所述引线框平行的平行线倾斜。

2.根据权利要求1所述的惯性传感器装置的制造方法，其特征在于，

所述传感器设备具有：

支撑所述检测元件的大致中央的具有挠性的多个支撑部件；以及

容纳所述检测元件和所述多个支撑部件的封装用基板，

在将所述多个支撑部件的延长方向设为X轴、将在所述检测元件的平面内与X轴正交的轴设为Y轴、将与所述X轴和所述Y轴正交的轴设为Z轴时，

施加在所述多个支撑部件上的所述检测元件的Y轴方向的载荷分量在所述多个支撑部件之间大致相同，而且所述Z轴方向的载荷分量在所述多个支撑部件之间大致相同。

3.根据权利要求1所述的惯性传感器装置的制造方法，其特征在于，

所述多个引线端子包括：从模制外壳的一部分向模制外壳的底面方向延伸的第一引线端子；和第二引线端子，其从所述模制外壳的与所述一部分对置的一部分向所述模制外壳的底面方向延伸，并且比所述第一引线端子长，所述第二引线端子朝向所述模制外壳侧具有多个弯曲部，其中，所述模制外壳是通过利用所述树脂进行浇铸而成的外壳。

4.根据权利要求1所述的惯性传感器装置的制造方法，其特征在于，

通过悬吊引线将所述多个引线端子与相邻的所述引线端子之间固定，在所述进行浇铸的工序之后，具有除去所述悬吊引线的工序。

5.根据权利要求1所述的惯性传感器装置的制造方法，其特征在于，

倾斜的所述凹底部分与相对于所述引线框平行的平行线所构成的角度，与所述传感器设备的检测轴和相对于惯性传感器装置的安装面垂直的方向所构成的角度大致一致。

6.根据权利要求1所述的惯性传感器装置的制造方法，其特征在于，

所述上模具的凹底部分与所述下模具的凹底部分大致平行。

7.根据权利要求1所述的惯性传感器装置的制造方法，其特征在于，

收纳于所述连接通道的所述引线框配置在离所述第四凹部比离所述第二凹部近的位置。

8.一种惯性传感器装置的制造方法，所述惯性传感器装置是利用树脂对传感器设备和引线框进行模塑封装而形成的装置，所述传感器设备中封装有对检测轴方向的物理量的大小进行检测的检测元件，所述引线框包括与所述传感器设备的下表面电连接的多个引线端子，

所述惯性传感器装置的制造方法的特征在于，

该惯性传感器装置的制造方法包括以下工序：

在倾斜面设置凹部，所述倾斜面与所述凹部的底面所构成的角度，与所述传感器设备的检测轴和相对于惯性传感器装置的安装面垂直的方向所构成的角度大致一致，在该关系下，使所述传感器设备的上表面与所述凹部的所述底面重合，将从所述传感器设备的下表面伸出的所述多个引线端子成形为沿着所述倾斜面的工序；

利用树脂对所述传感器设备进行浇铸的工序；以及

使从所述树脂伸出的所述多个引线端子朝向进行所述浇铸而成的模塑外壳侧弯曲的工序。