[发明专利]基片输送设备以及用于制造电子装置的系统和方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种基片输送设备，以及一种用于制造电子装置的系统和方法。

背景技术

下面将参考图7A和7B介绍普通基片输送设备的结构实例。普通的基片输送设备包括臂单元，该臂单元能够将驱动源的旋转运动转变成直线运动。臂单元包括两个基片保持器，这两个基片保持器竖直（沿Z方向）对齐，它们分别用作第一基片保持器701和第二基片保持器702。

例如，预定处理在特定处理腔室中完成，同时未处理的基片安装在第二基片保持器702上。基片输送设备朝着处理腔室旋转，以便收回处理后的基片。第一基片保持器701（没有基片安装在该第一基片保持器701上）朝着处理腔室运动（图7A），接收在处理腔室中的处理后基片，并使得第一基片保持器701返回后退位置（图7B）。

为了防止在没有可靠输送处理后基片的情况下连续进行下一个处理时可能产生的问题，普通的基片输送设备在基片交换操作之前和之后使用传感器来检测基片的存在/不存在。根据该检测结果来决定基片是否已经可靠输送给处理腔室。在收回处理后的基片时，首先，基片输送设备利用传感器来确认是否在用于基片收回的基片保持器上没有基片，并在确认在该基片保持器上没有基片之后使得基片保持器朝着处理腔室运动（见PTL1和PTL2）

引用专利文献

PTL1：日本PCT国家公开文献No.11-514303

PTL2：日本专利公开No.11-207666

发明内容

技术问题

不过，当沿Z方向从顶部观察在PTL1中公开的基片输送设备时，第一基片保持器701和第二基片保持器702相互交叠。当基片保持在第一基片保持器701上时，在位于第一基片保持器701下面的第二基片保持器702上的另一基片不能沿Z方向竖直地从上面看见。还有，当基片保持在第二基片保持器702上时，在位于第二基片保持器702上面的第一基片保持器701上的另一基片不能沿Z方向竖直地从下面看见。

作为能够检测沿Z方向相互交叠的基片保持器上的基片存在/不存在的措施，能够从斜向捕获基片保持器的图像，并使用高分辨率和高成本的CCD传感器和图像处理设备来检测基片。这种措施不仅提高了基片输送设备的成本，还延长了基片输送设备的生产节拍时间，因为它需要进行图像处理，并根据图像处理结果来确定基片的存在/不存在。

作为能够检测基片的存在/不存在的另一措施，能够采用使得任意一个基片保持器竖直地从上面（或下面）特意前进/后退至能够检测的位置的操作步骤。在这种措施中，基片输送设备的工作节拍也延长，因为增加了使得任意一个基片保持器前进/后退的操作步骤。

能够使用传感器来监测机器人臂的结构（PTL2）需要具有特定形状的部件（凸台部件）。在机器人臂的输送操作中，也需要使得臂的形状弯曲，以防止机器人臂与凸台部件干涉，从而导致增加基片输送设备的成本。

解决问题的方案

本发明考虑到上述问题，且本发明的目的是提供一种基片输送技术，它能够高效检测基片是否保持在多个基片保持器的每一个上。

根据本发明的一个方面，提供了一种基片输送设备，它包括：

第一基片保持器和第二基片保持器，该第一基片保持器和第二基片保持器能够各自保持基片；

两个第一从动臂，各第一从动臂的一端与第一基片保持器连接；

两个第二从动臂，各第二从动臂的一端与第二基片保持器连接；

第一驱动臂，两个第一从动臂中的一个和两个第二从动臂中的一个与该第一驱动臂连接；

第二驱动臂，两个第一从动臂中的另一个和两个第二从动臂中的另一个与该第二驱动臂连接；

第一驱动轴，第一驱动臂与该第一驱动轴能旋转地连接；以及

第二驱动轴，该第二驱动轴与该第一驱动轴同轴，且第二驱动臂独立于第一驱动轴与该第二驱动轴能旋转地连接；

其中，第一驱动臂包括：第一连接部分，两个第一从动臂中的一个的另一端与该第一连接部分连接；以及第二连接部分，两个第二从动臂中的一个的另一端与该第二连接部分连接；以及

第二驱动臂，包括：第三连接部分，两个第一从动臂中的另一个的另一端与该第三连接部分连接；以及第四连接部分，两个第二从动臂中的另一个的另一端与该第四连接部分连接；

由使得第一连接部分和第二连接部分相互连接的直线确定的第一方向轴线与第一驱动轴的旋转轴线间隔开第一距离；以及

由使得第三连接部分和第四连接部分相互连接的直线确定的第二方向轴线与第二驱动轴的旋转轴线间隔开第二距离。