[发明专利]用于激光系统的聚焦物镜的能移动的重量补偿悬架的装置

权利要求书

1.一种用于激光系统（10）的聚焦物镜（12）的能移动的重量补偿悬架的装置，包括：

-力产生装置，该力产生装置用于产生抵消所述聚焦物镜（12）的重量的反作用力分量

-传动装置，该传动装置将所述反作用力分量传递到所述聚焦物镜（12）上并允许所述聚焦物镜的向上/向下补偿运动；和

-引导装置，该引导装置用于能移动地引导所述聚焦物镜，以使在所述聚焦物镜（12）的向上/向下补偿运动的情况下，所述聚焦物镜的光学轴线（O）至少保持其在空间的方位并优选地保持其在空间的位置。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述力产生装置包括配重（16），该配重（16）的质量用于产生至少部分所述反作用力分量，特别地产生全部所述反作用力分量。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其中所述传动装置为摇杆的形式，所述反作用力分量作用在所述摇杆的一侧上，所述聚焦物镜（12）的至少部分重量，特别地全部重量，作用在所述摇杆的另一侧上。

4.根据权利要求3所述的装置，其中所述力产生装置在所述摇杆上的至少一个力作用点（K）与所述摇杆的转动轴线（X）的距离能被调节。

5.根据权利要求3或4所述的装置，其中所述聚焦物镜（12）被支撑在所述摇杆上，以使所述聚焦物镜（12）能围绕在一定距离处的平行于所述摇杆的转动轴线（X）延伸的旋转轴线相对于所述摇杆旋转。

6.根据权利要求5所述的装置，其中所述聚焦物镜（12）以距所述摇杆的所述转动轴线（X）能变化的距离支撑在所述摇杆上。

7.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中所述引导装置为直线引导件形式，具有平行于所述聚焦物镜（12）的所述光学轴线（O）的引导方向。

8.根据权利要求7所述的装置，其中所述引导装置具有在所述聚焦物镜的向上/向下补偿运动的情况下阻止所述聚焦物镜横切所述光学轴线（O）的运动的引导结构。

9.一种激光系统（10），包括：

-激光辐射源，优选为脉冲激光辐射；

-聚焦物镜（12），该聚焦物镜用于使所述激光辐射聚焦，所述聚焦物镜具有光学轴线（O）；

-接口单元，该接口单元被布置在所述聚焦物镜的辐射出口侧上，并优选为被能分离地联接到所述聚焦物镜，所述接口单元具有对于所述激光辐射能穿透的接触元件，所述接触元件放置在将使用所述激光辐射在其上工作的对象上。

-用于所述聚焦物镜的能移动的重量补偿悬架的装置，特别地为根据前述权利要求中任一项所述的形式，该装置具有含有两个摇杆臂的摇杆，所述摇杆被支撑在所述激光系统的壳体构件上以使所述摇杆能围绕摇杆轴线（X）被转动，所述聚焦物镜被支撑在所述摇杆臂中的一个上以使所述聚焦物镜能围绕平行于所述摇杆轴线的转动轴线相对于所述摇杆旋转，用于产生反作用力分量的配重（16）附接在另一摇杆臂上，所述反作用力分量补偿所述聚焦物镜的至少大部分的重量，所述装置还具有用于沿所述聚焦物镜的所述光学轴线能直线移动地引导所述聚焦物镜的引导系统。