[发明专利]气密密封装置及具有该密封装置的显示装置制造系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种气密密封装置及一种具有该密封装置到显示装置制造系统。

背景技术

通常，一个显示装置包括一个供影像颢示用的液晶面板和一个用于把驱动信号施加到该液晶面板的驱动器。该液晶面板包括一个上基板、一个下基板、和一个置于互相连接的该上基板与该下基板之间的液晶层。

近期，由于显示装置的孔径与基板的尺寸增加，显示装置制造系统在尺寸方面变大。

为了制造显示装置，必须有一个专属的显示装置制造系统和一个能够在从低真空到超高真空的大真空范围中运作的像是气密密封沟阀般的气密密封装置。

然而，如果供显示装置用的基板被供应到一制造系统而一阀是受控制关上的话，一个阀片是难以均称地变成与一壳体入口的边缘接触。为此，一个普通的气密密封装置是被构筑来对一运作部份施加过度的压力以变成紧密接触。在这情况中，在一阀片与一壳体入口之间的过度紧密接触会使那些组件受损及变形，导致故障的结果。

发明内容

本发明的目的是提供一种能够藉由气压或液压的使用来驱动阀片的气密密封装置以改进气密密封性能。

本发明的另一目的是提供一种能够独立地驱动用于隔离第一真空室的阀片与用于隔离第二真空室的阀片的气密密封装置。

根据本发明的一个方面，一种气密密封装置包括在一侧具有第一入口和在另一侧具有第二入口的壳体、置于该壳体内部且分别开放与封闭该第一入口和该第二入口的第一阀片和第二阀片、置于该壳体内部的支承面板、设于该支承面板的一侧且水平地移动该第一阀片的第一汽缸单元、置于该支承面板的另一侧且水平地移动该第二阀片的第二汽缸单元、及连接到该支承面板且上下移动该第一阀片和第二阀片的至少一个驱动单元。

该至少一个驱动单元可以包括供应第一汽缸单元气压或者液压的第一驱动单元、及供应第二汽缸单元气压或者液压的第二驱动单元。

该壳体可以具有该第一阀片和第二阀片在里面可上下移动的内部储存空间，该第一入口可以是第一真空室的入口，而该第二入口可以是第二真空室的入口。

要与该第一入口和第二入口成紧密接触的密封组件可以被安装到该第一阀片和第二阀片。

该第一汽缸单元可以包括固定到该支承面板的一侧的第一汽缸本体，和置于该第一汽缸本体内部以线性地移动、把该第一汽缸单元的内部分割成第一空间与第二空间、及连接到该第一阀片的第一可移动组件。

一条把空气供应到第一空间及把空气从第一空间排出的第一管线及一条把空气供应到第二空间及把空气从第二空间排出的第二管线可以形成在该第一汽缸本体内。

该第二汽缸单元可以包括固定到该支承面板的另一侧的第二汽缸本体，和置于该第二汽缸本体内部以线性移动、把该第二汽缸单元的内部分割成第三空间与第四空间、并连接到该第二阀片的第二可移动组件。

一条把空气供应到第三空间及把空气从第三空间排出的第三管线与一条把空气供应到第四空间及把空气从第四空间排出的第四管线可以形成在该第二汽缸本体内。

该至少一个驱动单元中的每一者可以包括：具有被供应有气压的内部空间的本体；置于该本体110内以移动并把该内部空间分割成第一腔室与第二腔室的活塞；连接到该活塞120、从该本体伸出、固定到该支承面板、并且在内部具有第一通道与第二通道的活塞杆130，该第一通道连接到该第一空间而该第二通道连接到该第二空间；及置于该活塞杆内部且在内部具有第三通道与第四通道的导管，该第三通道被设置为能够线性地移动且连接到该第一通道而该第四通道连接到该第二通道。

上盖可以形成在该本体的一侧，下盖可以形成在该本体的另一侧，用于把空气供应到该第二腔室及将空气从该第二腔室排放的第一入气口是可以形成在该上盖，而用于把空气供应到该第一腔室并将空气自该第一腔室排放的第二入气口是可以形成在该下盖。

该活塞杆可以包括形成该第一通道的第一杆，和设置为与该第一杆的外周缘表面分隔一预定间隙且形成该第二通道的第二杆。

该导管可以包括形成该在该导管内部的第三通道的第一管子，和设置为与该第一管子的外周缘表面分隔一预定间隙并形成该第二通道的第二管子。

第二孔可以形成在该第一杆的下端部份，而第三孔可以形成在该第二管子的上端部份。如果该活塞杆被拉出该本体之外的话，该第二孔和该第三孔可以彼此连接。

第一压力传感器可以设置在该第一阀片与该壳体的内表面中的任一者上以测量第一阀片20施加到那里的压力，而第二压力传感器可以设置在该第一阀片与该壳体的内表面中的任一者上以测量第二阀片施加到那里的压力。