[发明专利]气密密封装置及具有该密封装置的显示装置制造系统

权利要求书

1.一种气密密封装置，包含：

壳体，该壳体在一侧具有第一入口而在另一侧具有第二入口；

置于该壳体内部且分别开启与关闭第一入口和第二入口的第一阀片和第二阀片；

置于该壳体内部的支承面板；

设于该支承面板的一侧且水平地移动该第一阀片的第一汽缸单元；

设于该支承面板的另一侧且水平地移动该第二阀片的第二汽缸单元；及

连接到该支承面板且垂直地移动该第一阀片和该第二阀片的至少一个驱动单元。

2.如权利要求1所述的气密密封装置，其中，该至少一个驱动单元包含：

供应气压或者流体压力到该第一汽缸单元的第一驱动单元；及

供应气压或者流体压力到该第二汽缸单元的第二驱动单元。

3.如权利要求1所述的气密密封装置，其中：

该壳体具有内部储存空间，该第一阀片与该第二阀片在该储存空间可垂直地移动，

该第一入口是进入连接在所述壳体的一侧的第一真空腔室的入口，及

该第二入口是进入连接在所述壳体的另一侧的第二真空腔室的入口。

4.如权利要求1所述的气密密封装置，其中，与第一入口和第二入口成紧密接触的密封组件安装到该第一阀片和该第二阀片。

5.如权利要求1所述的气密密封装置，其中，该第一汽缸单元包含：

固定到该支承面板的一侧的第一汽缸本体；及

第一可移动组件，该第一可移动组件置于该第一汽缸本体内部以线性地移动、把该第一汽缸单元的内部分割成第一空间和第二空间、且连接到该第一阀片。

6.如权利要求5所述的气密密封装置，其中，一条把空气供应到该第一空间及从该第一空间排放空气的第一管线以及一条把空气供应到该第二空间及从该第二空间排放空气的第二管线形成在该第一汽缸本体中。

7.如权利要求6所述的气密密封装置，其中，该第二汽缸单元包含：

固定到该支承面板的另一侧的第二汽缸本体；及

第二可移动组件，该第二可移动组件是置于该第二汽缸本体内部以线性地移动、把该第二汽缸单元的内部分割成第三空间和第四空间、且连接到该第二阀片。

8.如权利要求7所述的气密密封装置，其中，一条把空气供应到该第三空间及从该第三空间排放空气的第三管线以及一条把空气供应到该第四空间及从该第四空间排放空气的第四管线形成在该第二汽缸本体中。

9.如权利要求5所述的气密密封装置，其中，该至少一个驱动单元中的每一个包含：

具有内部空间的本体，气压是供应到该内部空间；

活塞，该活塞是置于该本体内部并可移动，并且把该内部空间分割成第一腔室和第二腔室；

活塞杆，该活塞杆连接到该活塞、被拉出该本体、固定到该支承面板、并且在内部具有第一通道和第二通道，该第一通道连接到该第一空间而该第二通道连接到该第二空间；及

置于该活塞杆内部的导管，且该导管内部具有第三通道和一个第四通道，该第三通道连接到该第一通道而该第四通道是连接到该第二通道。

10.如权利要求9所述的气密密封装置，其中，上盖形成在该本体的一侧，下盖形成在该本体的另一侧，把空气供应到该第二腔室并把空气从该第二腔室排放的第一空气入口形成在该上盖中，而把空气供应到该第一腔室并把空气从该第一腔室排放的第二空气入口形成在该下盖中。

11.如权利要求9所述的气密密封装置，其中，该活塞杆包含：

形成该第一通道的第一杆；及

被设置为与该第一杆的外周缘表面相隔一预定间隙且形成该第二通道的第二杆。

12.如权利要求9所述的气密密封装置，其中，该导管包含：

形成该导管内部的第三通道的第一管子；及

被设置为与该第一管子的外周缘表面相隔一预定间隙且形成该第四通道的第二管子。

13.如权利要求12所述的气密密封装置，其中：

第二孔形成在该第一杆的下端部份，

第三孔形成在该第二管子的上端部份，及

如果该活塞杆被拉出该本体之外的话，该第二孔洞和该第三孔洞彼此连接。