[发明专利]正型感光性树脂组合物、由该组合物形成的固化膜及具有固化膜的元件

权利要求书

1.一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，是含有(a)聚硅氧烷、(b)重氮萘醌化合物、和(c)溶剂的正型感光性组合物，

(a)聚硅氧烷中的来源于通式(1)所示的有机硅烷的结构的含有比率，以相对于聚硅氧烷全体的Si原子摩尔数的Si原子摩尔比计，为20%～80%，并且(a)聚硅氧烷中包含来源于通式(2)所示的有机硅烷的结构，

式中，R¹表示碳原子数6～15的芳基，多个R¹可以分别相同也可以不同；R²表示氢、碳原子数1～6的烷基、碳原子数2～6的酰基、碳原子数6～15的芳基中的任一种，多个R²可以分别相同也可以不同；n表示1～3的整数；

式中，R³～R⁶分别独立地表示氢、碳原子数1～6的烷基、碳原子数2～6的酰基、碳原子数6～15的芳基中的任一种；m表示1～11的整数。

2.根据权利要求1所述的正型感光性组合物，其特征在于，在(a)聚硅氧烷中，还含有来源于通式(3)所示的有机硅烷的结构，

式中，R⁷表示氢、碳原子数1～10的烷基、碳原子数2～10的链烯基中的任一种，多个R⁷可以分别相同也可以不同；R⁸表示氢、碳原子数1～6的烷基、碳原子数2～6的酰基、碳原子数6～15的芳基中的任一种，多个R⁸可以分别相同也可以不同；l表示1～3的整数。

3.根据权利要求1或2所述的正型感光性组合物，其特征在于，在(a)聚硅氧烷中，以相对于聚硅氧烷全体的Si原子摩尔数的Si原子摩尔比计，包含12%～60%的范围的来源于通式(2)所示的有机硅烷的结构。

4.根据权利要求1～3的任一项所述的正型感光性组合物，其特征在于，在(a)聚硅氧烷中，通式(1)的R¹为苯基、甲苯基、萘基、蒽基、菲基、芴基、芴酮基、芘基、茚基、苊基中的任一种基团。

5.根据权利要求1～4的任一项所述的正型感光性组合物，其特征在于，在(a)聚硅氧烷中，通式(2)的m为2～11的整数。

6.根据权利要求1～5的任一项所述的正型感光性组合物，其特征在于，(b)重氮萘醌化合物相对于(a)聚硅氧烷100重量份为3～15重量份。

7.根据权利要求1～6的任一项所述的正型感光性组合物，其特征在于，(b)重氮萘醌化合物为下述通式(4)所示的重氮萘醌化合物，

式中，R⁹表示氢、或碳原子数1～8的烷基；R¹⁰、R¹¹、R¹²、R¹³表示氢原子、碳原子数1～8的烷基、烷氧基、羧基、酯基中的任一种；各R¹⁰、R¹¹、R¹²、R¹³可以相同也可以不同；Q表示重氮萘醌-5-磺酰基、氢原子中的任一种，但Q全部为氢原子的情况除外；a、b、c、d、e、α、β、γ表示0～4的整数；其中，α＋β＋γ＋δ≥2。

8.一种固化膜，其是由权利要求1～7的任一项所述的正型感光性组合物形成的固化膜，波长400nm时的每3μm膜厚的光透射率为90%以上。

9.一种元件，其具备权利要求8所述的固化膜。

10.一种元件，权利要求9所述的元件为液晶显示元件、有机EL显示元件、触摸面板用传感器元件、半导体元件、固体摄像元件或光半导体元件中的任一种。