[发明专利]板状物的研磨方法及研磨装置

说明书

技术领域

本发明涉及板状物的研磨方法及研磨装置。

背景技术

近年来，液晶显示装置（LCD）、等离子显示器装置（PDP）、有机EL显示装置（OLED）被广泛地利用。具体而言，作为大型电视机、笔记本电脑、车载导航装置、公众显示装置或手机等的移动设备的显示构件而使用。

在这些显示装置上搭载有具备至少一张玻璃板的显示元件。作为最近的倾向，伴随着显示尺寸的大型化、显示性能的高品质化或移动设备的兴起，产生了显示元件的轻量化/薄型化这样的新要求，因此，关于显示元件用的玻璃板，提出了更高的规格。

在平板显示器（FPD）中使用的玻璃板从寻求的物理性/化学性的性能的观点出发，当前，利用熔化法（溢流下拉法）或浮法来制造。熔化法在玻璃板的成形时使玻璃的两侧表面成为自由表面，不经由成形后的研磨工序，而能够提供FPD用的玻璃板。

相对于此，在利用浮法制造FPD用的玻璃板时，容易产生在与金属液槽中的熔融金属相接的玻璃板的表面（底面）生成的缺锡点等。另外，由于主要是在成形工序引起的玻璃表面的弯曲、异物的附着的发生，因此在其下游侧设置对玻璃板的表面进行研磨的研磨工序。

基于浮法的玻璃板的制造如下所述。如图18所示，设有斜纹布40、槽42、熔融金属52、熔融金属浴（金属液槽）53、顶辊56、缓冷炉62、用于观察熔融玻璃的状态的拍摄装置50、51、以及切断装置70等。

在槽42的上游的熔融窑中熔融的熔融玻璃向金属液槽53供给。在金属液槽53蓄积有熔融锡，熔融玻璃54在熔融锡上流动，拉伸而成为规定的厚度的玻璃带GR且被平坦化。

在金属液槽53的下游侧设有将玻璃带GR从金属液槽53拉出而向缓冷炉62搬入的提升辊60。通过驱动该提升辊60，而金属液槽53的熔融锡上的熔融玻璃54被向缓冷炉的方向拉伸并向金属液槽53的下游侧成为一定宽度的带状而行进。

所述玻璃带GR的流动方向Fd成为从金属液槽的上游侧朝向下游侧的方向。并且，形成为带状的玻璃（玻璃带GR）被从金属液槽53向缓冷炉62搬运，通过缓冷炉内的涂层辊64被搬运并被缓冷至室温。

通过所述缓冷，在金属液槽中形成为带状时产生的残留应力被减轻/均衡化。并且，通过了缓冷炉62的玻璃带GR利用切断装置70切断成规定尺寸的玻璃板G。

切断后的玻璃板经过检查工序之后，向研磨工序输送。另外，进行玻璃板的端面加工（倒角；chamfering）。在研磨工序中，利用研磨装置对玻璃板的表面进行研磨，将其表面的微小的裂纹、弯曲除去。

图8表示以往的研磨装置的一例。在图8的研磨装置1中，在粘接于工作台2的吸附片3上吸附保持有玻璃板G的非研磨对象面，沿着箭头X的方向由移动单元（未图示）连续地搬运。并且，通过设置在搬运通路的上方的多个研磨头的圆形研磨用具4、4…将玻璃板G的研磨对象面（被研磨面）研磨成所希望的平坦度。在所述研磨装置1中，圆形研磨用具朝向X方向左右分开配置，与玻璃板依次接触，进行研磨。

如图9所示，圆形研磨用具4、4…以玻璃板G的移动中心线L为基准成对排列，并且沿着移动方向配置成锯齿状（曲折状）。在该状态下，圆形研磨用具4、4…进行自转并进行公转，从一侧超过移动中心线L而向另一侧移动，对玻璃板G进行研磨。

根据这样具备多个研磨头的研磨装置1，不使用1台大型研磨用具，而通过直径D比玻璃板G的宽度W小的小型的圆形研磨用具4、4…，就能够大量/连续地进行玻璃板G的研磨（例如，参照专利文献1）。

另外，还已知有一次对大型的玻璃板的整个表面进行研磨的研磨装置（例如，参照专利文献2）。所谓单头方式的研磨装置。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本国特开2007-190657号公报

专利文献2：日本国特开2004-122351号公报

发明内容

然而，与在浮法中成形时的玻璃带的移动方向平行地，玻璃表面缺陷以某倾向分布。所述表面缺陷是指因附着于辊的玻璃片、原料的搅拌不均等各种理由而产生的微小的裂纹、弯曲等。所述的裂纹、弯曲形成为大致具有一方向的规则性的条纹状，在本说明书中，将形成在玻璃板上的所述的条纹的方向称为痕纹方向（streak direction）。因此，以玻璃板的所述痕纹方向配置成与研磨时的搬运方向为同方向而对玻璃板进行研磨时，有在利用一部分的研磨用具研磨的被研磨面上的表面缺陷少而在利用其他的研磨用具研磨的被研磨面上的表面缺陷较多存在的情况。