[发明专利]具备洁净室功能的手套箱及利用该手套箱的传送系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于制造半导体元件的具备洁净室功能的手套箱及利用该手套箱的传送系统。

背景技术

众所周知，有机发光元件（OLED：organic electro luminescent device）由平板显示元件中的一个在晶片上的阳电极层与阴电极层之间具备有机发光层，具有厚度很薄的矩阵形状。

这种有机发光元件上所形成的有机薄膜层容易与水分（H₂O）及氧（O₂）反应，对元件的寿命及特性产生诸多影响，因此在形成有有机发光元件的基板上通过密封盖或密封用薄膜等密封单元密封有机发光元件，从而使基板上所形成的有机发光元件的有机薄膜层与外部的水分及氧隔离而进行保护。

但是，在密封有机发光元件的工序中也会从外部导入氧及水分，因此上述密封工序是在手套箱（glove box）内进行的，稳定地维持手套箱内氛围对有机发光元件的性能及产量会带来很大影响。

如上所述在像有机发光元件这样的半导体元件的制造过程中所使用的手套箱包括手套箱主体、调节机构、真空泵等，手套箱主体由操作者放入手进行操作的手套及正面窗等构成，调节机构包括惰性气体及真空调节装置。

上述手套箱为了执行一个工序而向腔室内部传送对象物（例如有机发光元件等），通过预定的气体、压力、温度等进行设定及调节，根据需要利用手套箱通过操作者的手操作对象物。之后，若结束工序，则为了执行下一个工序而从该工序腔室向下一个工序腔室传送对象物来执行下一个工序。

上述手套箱的内部可能存在污染对象物的灰尘（或粉尘）等，这会成为引起对象物的污染及相应工序产生严重错误的主要因素，由于灰尘等产生的静电存在产生更严重的错误的问题。

发明内容

本发明所要解决的课题

本发明的目的在于提供一种具备洁净室功能的手套箱及利用该手套箱的传送系统，能够通过手套箱所具备的过滤机构使内部空气循环而过滤灰尘，具备静电防止机构，能够防止产生静电。本发明的目的还在于提供一种具备洁净室功能的手套箱及利用该手套箱的传送系统，延伸连接多个具备空气循环机构及静电防止机构的手套箱，能够从当前工序腔室向下一个工序腔室清洁地传送对象物。

本发明的实施例的目的不限定于上述的目的，本领域技术人员能够根据以下记载明确理解上面未提及的其他目的。

用于解决课题的手段

根据本发明的一个方面，提供一种具备洁净室功能的手套箱，去除氧及水分来提供清洁的工序环境，包括：过滤机构110，设置于在上述手套箱所具备的工序腔室B的上部及下部所设置的上部构造物A及下部构造物C，使上述工序腔室B的内部空气向外部循环而过滤灰尘；静电去除机构120，设置于上述上部构造物A，去除由于灰尘产生的静电；以及腔室机构130，为了进行工序作业而设置于上述工序腔室B。

根据本发明的另一个方面，提供一种利用了具备洁净室功能的手套箱的传送系统，从第1工序腔室向第2工序腔室传送对象物，包括：第1手套箱100a，延伸连接有多个包括过滤机构110、静电去除机构120及腔室机构130的手套箱，上述过滤机构110设置于在工序腔室B的上部及下部所设置的上部构造物A及下部构造物C，使上述工序腔室B的内部空气向外部循环而过滤灰尘，上述静电去除机构120设置于上述上部构造物A，去除由于灰尘产生的静电，上述腔室机构130为了进行工序作业而设置于上述工序腔室B，上述第1手套箱100a与第1工序腔室连接，传送从该第1工序腔室排出的上述对象物；第3手套箱100c，具有与上述第1手套箱100a相同的结构，与上述第2工序腔室连接，向上述第2工序腔室送入所传送的上述对象物；第1升降部200a，使从上述第1手套箱100a传送的上述对象物上升或下降，沿同一方向传送上述对象物，或使上述对象物旋转后进行传送；第2升降部200b，具有与上述第1升降部200a相同的功能，向上述第3手套箱100c传送上述对象物；以及第2手套箱100b，具有与上述第1手套箱100a相同的结构，连接上述第1升降部200a和上述第2升降部200b而传送上述对象物。

发明效果

在本发明中，使手套箱的工序腔室内部空气循环，在排出箱中对灰尘进行一次去除，在送风箱中对灰尘进行二次去除，通过静电防止机构去除从灰尘产生的静电，从而实现洁净室功能，能够提供清洁的工序环境。