[发明专利]具备洁净室功能的手套箱及利用该手套箱的传送系统

权利要求书

1.一种具备洁净室功能的手套箱，去除氧及水分来提供清洁的工序环境，包括：

过滤机构（110），设置于在上述手套箱所具备的工序腔室（B）的上部及下部所设置的上部构造物（A）及下部构造物（C），使上述工序腔室（B）的内部空气向外部循环而过滤灰尘；

静电去除机构（120），设置于上述上部构造物（A），去除由于灰尘产生的静电；以及

腔室机构（130），为了进行工序作业而设置于上述工序腔室（B）。

2.根据权利要求1所述的具备洁净室功能的手套箱，其中，

上述过滤机构（110）包括：

送风箱（111），在上述上部构造物（A）上成对地设置有多个送风器（111a）和多个过滤器（111b），从所循环的上述内部空气中过滤上述灰尘之后送入上述工序腔室（B）；

多个排气箱（113），与上述工序腔室（B）相邻地设置于上述下部构造物（C），能够排出上述内部空气；以及

循环配管（112），设置于上述工序腔室（B）的外部，连接上述送风箱（111）和上述排气箱（113），使上述内部空气循环。

3.根据权利要求2所述的具备洁净室功能的手套箱，其中，

上述循环配管（112）与上述送风箱（111）直接连接，或者在包括上述送风箱（111）的上述上部构造物（A）具有密闭的空间时，上述循环配管（112）与上述上部构造物（A）连接。

4.根据权利要求3所述的具备洁净室功能的手套箱，其中，

上述排气箱（113）在内表面上具备吸附上述灰尘的吸附单元。

5.根据权利要求4所述的具备洁净室功能的手套箱，其中，

上述腔室机构（130）具备底板（131），该底板（131）与上述排气箱（113）对应地具备多个排出部（131a），通过上述排出部（131a）排出上述内部空气。

6.一种利用了具备洁净室功能的手套箱的传送系统，从第1工序腔室向第2工序腔室传送对象物，包括：

第1手套箱（100a），延伸连接有多个包括过滤机构（110）、静电去除机构（120）及腔室机构（130）的手套箱，上述过滤机构（110）设置于在工序腔室（B）的上部及下部所设置的上部构造物（A）及下部构造物（C），使上述工序腔室（B）的内部空气向外部循环而过滤灰尘，上述静电去除机构（120）设置于上述上部构造物（A），去除由于灰尘产生的静电，上述腔室机构（130）为了进行工序作业而设置于上述工序腔室（B），上述第1手套箱（100a）与第1工序腔室连接，传送从该第1工序腔室排出的上述对象物；

第3手套箱（100c），具有与上述第1手套箱（100a）相同的结构，与上述第2工序腔室连接，向上述第2工序腔室送入所传送的上述对象物；

第1升降部（200a），使从上述第1手套箱（100a）传送的上述对象物上升或下降，沿同一方向传送上述对象物，或使上述对象物旋转后进行传送；

第2升降部（200b），具有与上述第1升降部（200a）相同的功能，向上述第3手套箱（100c）传送上述对象物；以及

第2手套箱（100b），具有与上述第1手套箱（100a）相同的结构，连接上述第1升降部（200a）和上述第2升降部（200b）而传送上述对象物。

7.根据权利要求6所述的利用了具备洁净室功能的手套箱的传送系统，其中，

上述第1升降部（200a）及第2升降部（200b）包括：

两个支撑杆（202），固定设置于上述第1升降部（200a）及第2升降部（200b）各自的内部空间的一个侧面；

支架（204），在上述支撑杆（202）之间沿横向固定设置；

上下驱动电机（206），固定于上述支架（204），向螺杆（208）传递驱动力；

转盘支架（210），与上述螺杆（208）结合，根据上述上下驱动电机的驱动沿上下方向移动转盘（212）；

旋转驱动电机（216），设置于上述转盘支架（210）的下部，提供使上述转盘（212）旋转的驱动力，并提供辊驱动力；以及

第2传送辊（214），设置于上述转盘的上部，通过上述辊驱动力而旋转来传送上述对象物。