[发明专利]带电粒子线显微镜以及该带电粒子显微镜的控制方法

说明书

技术领域

本发明涉及具有通过利用了图形用户界面(以下简称为GUI)的简单的按钮操作来变更观察条件的功能的带电粒子线显微镜及其控制方法。

背景技术

在现有技术中，带电粒子线显微镜或者应用了带电粒子线显微镜的各种装置的用户，仅限于研究机构中的研究者和制造业中的制造管理者或者分析担当者等所谓的专家。但是，由于近年来的技术进步，能够实现就性能而言非常低价的带电粒子线显微镜，伴随于此，向中小学校等教育现场或汽车修理工厂等、在现有技术中完全无法想象的场所进行的带电粒子线显微镜的导入得到发展。因为这样的场所中的带电粒子线显微镜的用户不是技术专家，所以对于上述低价的带电粒子线显微镜，与其追求性能，不如追求操作的简便。

另一方面，例如像专利文献1所记载的那样，近年来针对带电粒子线显微镜，也发展了GUI的导入，大部分的操作能够通过显示在监视器上的GUI画面来进行。因此，当前的带电粒子线显微镜，与过去的带电粒子线显微镜相比，可以说操作性大幅提高。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2006-190567号公报

发明要解决的课题

在现有的带电粒子线显微镜中使用的GUI画面，是以由技术专家来使用为前提而设计的。因此，在现有技术中，显示在GUI上的装置的动作设定画面，沿袭了由专家通过手工操作进行的动作设定项目、动作调整项目或者设定顺序，并置换为GUI画面。因此，显示在GUI上的设定项目、调整项目非常多，而且在某设定项目中设定的控制参数和在其他设定项目中设定的控制参数彼此密切相关，调整非常繁杂。

例如，带电粒子线显微镜，通过切换一次带电粒子线的照射条件，能够取得更多地反映了观察试样的表面形状的图像或更多地反映了观察试样内的组成的图像等、观察条件不同的图像。但是，为了将装置调整为希望的观察条件，例如若变更电子源的加速电压，则伴随加速电压的变更会产生电子透镜或偏向器的调整等、其他带电粒子光学系统条件的变更作业。

并且，显示在现有的GUI画面上的动作设定项目或者动作调整项目，用带电粒子线显微镜特有的专业术语来显示。

因此，在现有的带电粒子线显微镜中使用的GUI画面，很难说不具备与带电粒子线显微镜相关的预备知识的用户也能够轻松地操作，存在装置用户需要非常长的时间才能习惯操作的问题。

发明内容

因此，本发明的目的在于，实现具有直观且操作性优异的用户界面的、如电视机或微型数码相机等家电设备一般的操作简单的带电粒子线显微镜。

解决课题的手段

为了实现即使不具备带电粒子光学系统的专门知识也能够操作的用户界面，显示在GUI上的按钮、图标等对象，废弃了专业术语，全部采用了直观地表示装置用户的使用目的的日常用语，例如“视野搜索”“图像确认”“焦点(的调整)”“观察倍率(的变更)”“观察条件(的变更)”等这样的日常用语。

此外，设置了使为了实现按钮、图标所示的用户使用目的而需要的一系列的处理汇总执行的单元。

发明效果

实现了直观且操作性优异的用户界面，并且实现了即使是不具备与带电粒子显微镜相关的专门知识的初学者也能够操作的带电粒子显微镜。

附图说明

图1是本发明的1实施方式中的带电粒子线显微镜系统的整体构成图。

图2是表示本发明的1实施方式中的带电粒子镜体的内部构成例的示意图。

图3是本发明的1实施方式中的带电粒子线显微镜系统的操作画面的构成例。

图4是表示观测条件模式和带电粒子光学系统的动作条件的关系的图。

图5是表示观察条件文件的构成例的图。

图6是本发明的1实施方式中的带电粒子线显微镜系统的整体动作流程图。

图7是表示应用程序、上层控制装置、控制电路间的协同动作的图。

图8是表示指令表的构成例的图。

图9是表示本发明中的带电粒子线显微镜的调整画面的构成例的图。

具体实施方式

(实施例1)

以下，利用附图对实施例1进行说明。

在图1中，示出本实施例的带电粒子线显微镜的整体系统构成。图1所示的带电粒子线显微镜系统，由实际观察试样的显微镜装置11和实现针对该显微镜装置的用户界面功能的个人计算机1(以下简称为PC)构成。