[发明专利]带电粒子线显微镜以及该带电粒子显微镜的控制方法

权利要求书

1.一种带电粒子显微镜系统，其特征在于，具有：

显示画面，其显示图形用户界面(GUI)；

计算机，其执行该图形用户界面的画面显示处理；和

带电粒子显微镜，其具备带电粒子光学镜体、和对在所述图形用户界面上被指示的指示内容进行解释来对所述带电粒子光学镜体进行控制的控制装置，

所述计算机具备：

观察条件文件，其记载了与显示在所述图形用户界面上的对象相关联的多个带电粒子显微镜的调整项目的设定值；和

处理器，其执行将该观察条件文件的记载内容变换为所述控制装置能够理解的形式的处理。

2.一种带电粒子显微镜系统，其组合了能够经由显示在图形用户界面(GUI)上的操作画面来进行操作并且与执行该图形用户界面的画面显示处理的计算机连接来使用的带电粒子显微镜、和安装于所述计算机来使用的应用程序，

所述带电粒子显微镜系统的特征在于，

所述带电粒子显微镜具备：

带电粒子光学镜体以及试样室，其用于取得观察图像；和

控制装置，其对在所述图形用户界面上被指示的指示内容进行解释来控制所述带电粒子光学镜体，

所述应用程序，通过与所述计算机一体化地进行动作，来执行如下处理：

读出观察条件文件的处理，其中该观察条件文件记载了与显示在所述图形用户界面上的对象相关联的多个带电粒子显微镜的调整项目的设定值；和

将该观察条件文件的记载内容变换为所述控制装置能够理解的形式的处理。

3.根据权利要求2所述的带电粒子显微镜系统，其特征在于，

所述观察条件文件是描述以下任意一个条件的文件：

(1)适于用于取得较多地包含观察对象试样的表面信息的二次带电粒子的、带电粒子光学镜体的工作条件；

(2)适于用于取得较多地包含观察对象试样的组成信息的二次带电粒子的、带电粒子光学镜体的工作条件；和

(3)适于用于执行观察对象试样的EDX分析的、带电粒子光学镜体的工作条件。

4.根据权利要求2所述的带电粒子显微镜系统，其特征在于，

所述控制装置包含：

控制电路，其包含生成提供给所述带电粒子光学镜体的模拟控制电压或模拟控制电流的DA变换器；和

上层控制装置，其对在所述图形用户界面上被指示的指示内容进行解释来生成所述控制电路的控制信号。

5.根据权利要求2所述的带电粒子显微镜系统，其特征在于，

所述观察条件文件包含以下任意一个调整项目：

(1)加速电压；

(2)带电粒子线源电流；

(3)聚光透镜的励磁电流；

(4)对校正线圈的供给电流；

(5)对象散补正器的供给电流。

6.根据权利要求5所述的带电粒子显微镜系统，其特征在于，

在所述图形用户界面上显示视野移动的复位按钮。

7.根据权利要求2所述的带电粒子显微镜系统，其特征在于，

所述应用程序在所述变换处理的执行后，对所述控制装置指示明亮度调整以及对比度调整处理。

8.根据权利要求2所述的带电粒子显微镜系统，其特征在于，

所述应用程序具备显示用于对所述观察条件文件的记载内容进行变更的变更画面的功能。

9.一种带电粒子线显微镜，其能够经由显示在图形用户界面(GUI)上的操作画面来进行操作，并且与执行该图形用户界面的画面显示处理的计算机连接来使用，

所述带电粒子线显微镜的特征在于，

具备通过所述图形用户界面上的一次操作来对一系列的关联的带电粒子光学系统的工作条件进行变更的功能。