[发明专利]单晶制造装置及单晶制造方法有效
| 申请号： | 201080052894.9 | 申请日： | 2010-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN102639763A | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 岛田聪郎;菅原孝世 | 申请（专利权）人： | 信越半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 宋晓宝;郭晓东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制造 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶制造装置，是利用切克劳斯基法来实行的单晶制造装置，其具备：坩埚，其容置原料；主室，其容置将该原料加热成原料熔液的加热器；及副室，其连接设置于该主室的上部，用以提拉并容置培育后的单晶；所述单晶制造装置的特征在于具有：
内屏蔽，其配置于所述加热器与所述主室之间，并隔绝所述加热器的辐射热；及支持构件，其从下方支持该内屏蔽；并且，所述内屏蔽在三处以上的支点处与所述支持构件接触而得以被支持，所述内屏蔽的下端在所述支点以外不与所述支持构件接触。
2.如权利要求1所述的单晶制造装置，其中，所述内屏蔽与所述支持构件经由棒状构件而作接触，该棒状构件的横截面积总计为200cm2以下。
3.如权利要求2所述的单晶制造装置，其中，所述棒状构件是由碳材料或碳复合材料所构成。
4.如权利要求2或权利要求3所述的单晶制造装置，其中，所述棒状构件的端部具有细微的段差，该细端部侧搭载于所述支持构件上。
5.如权利要求1至权利要求4中的任一项所述的单晶制造装置，其中，进一步具有围绕在所述内屏蔽的周围的绝热构件。
6.一种单晶制造方法，其是使用如权利要求1至权利要求5中的任一项所述的单晶制造装置来制造单晶。
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