[发明专利]旋转抛光垫

权利要求书

1.一种旋转抛光垫，包括：

基板，具有正面、背面和垂直于所述正面和背面的旋转轴线，所述基板进一步包括：

内部区域，邻近并围绕所述旋转轴线；

外部区域，包围所述内部区域；

具有第一平均尺寸的多个第一孔，位于所述内部区域内，并且从所述正面朝着所述背面延伸；以及

具有第二平均尺寸的多个第二孔，位于所述外部区域内，并且从所述正面朝着所述背面延伸，其中所述第一平均尺寸大于所述第二平均尺寸。

2.一种旋转抛光垫，包括：

基板，具有正面、背面和垂直于所述正面和背面的旋转轴线，所述基板进一步包括：

内部区域，邻近并围绕所述旋转轴线；

外部区域，包围所述内部区域；

具有第一孔密度的多个第一孔，位于所述内部区域内，并且从所述正面朝着所述背面延伸；以及

具有第二孔密度的多个第二孔，位于所述外部区域内，并且从所述正面朝着所述背面延伸，其中所述第一孔密度大于所述第二孔密度。

3.根据权利要求2所述的抛光垫，其中所述第一孔密度的范围为每平方厘米1.5至5.0个，并且所述第二孔密度的范围为每平方厘米0.8至1.5个。

4.根据权利要求1或2所述的抛光垫，其中所述多个第二孔包括根据彼此间隔开的一系列重复多边形集聚布置的第二孔的第一子集。

5.根据权利要求4所述的抛光垫，其中所述多边形集聚为六边形集聚。

6.根据权利要求1或2所述的抛光垫，其中所述多个第一孔具有第一平均深度，并且所述多个第二孔具有小于所述第一平均深度的第二平均深度。

7.根据权利要求1或2所述的抛光垫，其中所述多个第一孔具有第一平均直径，并且所述多个第二孔具有小于所述第一平均直径的第二平均直径。

8.根据权利要求1或2所述的抛光垫，其中所述多个第一孔占据第一平均体积，并且所述多个第二孔占据小于所述第一平均体积的第二平均体积。

9.根据权利要求1或2所述的抛光垫，其中所述基板包括开孔聚合物泡沫，当压缩到原始体积的25%时，所述泡沫的压缩变形值在2000至7000帕斯卡范围内。

10.根据权利要求1或2所述的抛光垫，其中，所述内部区域的直径为所述基板的直径的20%至40%。

11.根据权利要求1或2所述的抛光垫，其中，所述内部区域占据的面积为所述正面的总面积的4%至16%。

12.根据权利要求1或2所述的抛光垫，其中所述孔的形状大致为圆形。

13.根据权利要求1或2所述的抛光垫，还包括沿着所述背面的至少一部分延伸的背衬层，并且所述背衬层的弯曲模量大于所述基板的弯曲模量。

14.根据权利要求13所述的抛光垫，其中所述背衬层包括纤维材料，以便于联接在具有钩面附着表面的动力工具上。

15.根据权利要求1或2所述的抛光垫，其中所述多个第一孔包括存在于所述内部区域内的所有孔。

16.根据权利要求15所述的抛光垫，其中所述多个第二孔包括存在于所述外部区域内的所有孔。

17.根据权利要求1或2所述的抛光垫，其中所述外部区域进一步包括至少一个环形区域，并且其中所述多个第二孔进一步包括布置在所述至少一个环形区域中的第二孔的第二子集，所述第二子集从所述正面朝着所述背面延伸，并沿着至少一个圆环布置，每个圆环与所述正面共面，并且大致关于所述旋转轴线对称。

18.根据权利要求17所述的抛光垫，其中所述第二孔的第二子集具有特定直径和相邻孔之间的特定间距，并且所述特定直径与所述特定间距之间的比值为至少0.2。

19.根据权利要求18所述的抛光垫，其中，所述特定直径与所述特定间距的比值为至少0.3。

20.根据权利要求19所述的抛光垫，其中，所述特定直径与所述特定间距的比值为至少0.35。

21.根据权利要求17所述的抛光垫，其中所述至少一个环形区域包括两个或更多个环形区域，并且所述至少一个圆环包括位于各自的环形区域中并且彼此同心的两个或更多个圆环。

22.一种旋转抛光垫，包括：

基板，具有正面、背面和垂直于所述正面和背面的旋转轴线，所述基板进一步包括：

内部区域，邻近并围绕所述旋转轴线；

外部区域，包围所述内部区域；以及

多个孔，所述多个孔从所述正面朝所述背面延伸，其中所述孔具有一定的尺寸分布，并且相对于所述外部区域，具有相对大尺寸的所述孔主要位于所述内部区域中。