[发明专利]氢气回收系统以及氢气的分离回收方法

权利要求书

1.一种氢气回收系统，用于从来自以三氯硅烷作为原料制造多晶硅的装置的反应废气中分离回收氢气，其特征在于，具备：

冷凝分离装置，从来自多晶硅制造工序的含有氢气的反应废气中将氯硅烷类冷凝分离；

压缩装置，将经过所述冷凝分离装置后的含有氢气的反应废气进行压缩；

吸收装置，使经过所述压缩装置后的含有氢气的反应废气与吸收液接触，吸收分离氯化氢；和

吸附装置，由用于吸附除去经过所述吸收装置后的含有氢气的反应废气中包含的甲烷、氯化氢以及氯硅烷类的多个活性炭填充塔构成，

所述活性炭填充塔各自具有：用于向系统外排出的第一线路，作为在该活性炭填充塔内的活性炭再生时使用的载体即氢气的排出线路；和暂时向所述吸附装置外排出后向该吸附装置中循环的第二线路，并且，所述活性炭填充塔各自以能够对将所述氢气输送至所述第一线路或是第二线路进行选择的方式构成，

在所述第二线路中依次设置有氯硅烷类的冷凝分离部、气体压缩部和氯化氢的吸收分离部。

2.根据权利要求1所述的氢气回收系统，其中，所述氯化氢的吸收分离部为所述吸收装置。

3.根据权利要求1所述的氢气回收系统，其中，所述气体压缩部为所述压缩装置，所述吸收分离部为所述吸收装置。

4.根据权利要求1所述的氢气回收系统，其中，所述氯硅烷类的冷凝分离部为所述冷凝分离装置，所述气体压缩部为所述压缩装置，所述吸收分离部为所述吸收装置。

5.一种氢气的分离回收方法，是从来自以三氯硅烷作为原料制造多晶硅的装置的反应废气中分离回收氢气的方法，其特征在于，

使用权利要求1～4中任一项所述的氢气回收系统，在所述多个活性炭填充塔的至少一个中进行所述甲烷、氯化氢以及氯硅烷类的吸附除去，同时，进行其他活性炭填充塔内的活性炭再生，该活性炭再生包括下述操作(1)和(2)，

操作(1)：降低所述活性炭填充塔内的压力，利用氢气载气由所述第一线路将活性炭吸附物向系统外排气，

操作(2)：在操作(1)之后，将所述排出线路转换成所述第二线路，加热所述吸附装置，使活性炭温度上升，解吸氯化氢以及氯硅烷类，并且利用氢气载气向所述吸附装置外排出，进行该排出气体中的氯化氢以及氯硅烷类的回收，使氢气向所述吸附装置中循环。

6.根据权利要求5所述的氢气的分离回收方法，其中，作为所述吸收液，使用液状的氯硅烷类。